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机电助理工程师职称论文 （浅析机电技术在真空磁控溅射镀膜设备上的应用） ——蒋攀 成都巨峰玻璃有限公司（157 厂） 2016 年 8 月 I 目录 II 附 图 9 III 摘要 常言道：兵马未动，粮草先行。设备对于企业的重要性不言而喻， 设备是技术 发的基础，更是批量生产的保障。真空磁控溅射镀膜设 备是保障军用航空透明件镀制透明导电膜的关键，而机电技术在真空 磁控溅射镀膜设备上有着众多应用。设备人员了解真空磁控溅射镀膜 设备的结构及其工作方式，有助于其保养、维修以及改进；技术人员掌 握真空磁控溅射镀膜设备的相关知识并综合应用，有助于减少生产成 本、缩短 发周期以及提高生产效率。 关键词 ：机电技术、真空磁控溅射技术、真空磁控溅射镀膜设备。 1 机 电助理工程师 称论文 （浅析机电技术在真空磁控溅射镀膜设备上的应用） 1 机 电技术简概 镀基片的高能 电子的减少。 机 电技术是由计算机技术、 2.1 真空磁控溅射镀膜原理 信息技术、机械技术、电子技术、 -1 -2 在压力为 10 ~10 Pa 的真空 控制技术、光学技术等多技术融 容器内，在两个 电极 间加上由高 合构成的一门独立的交叉学科。 输出阻抗直流电源控制的直流 电 现代科技技术的发展对机 电 压，低压气体会产生‘辉光放电效 技术的发展起着巨大的推进作用， 应’并进行离化，离化后的正离子 使得机 电技术逐渐趋向于高精度 经过电场加速入射到阴极靶材表 化、高柔性化以及高智能化等。 面，入射离子与靶材中的原子（分 2 真空磁控溅射镀膜原理及其 子）和 电子相互作用，击出阴极 特点 靶材的原子（分子）；击出阴极靶材 的原子（分子）具有一定的能量， 真空磁控溅射镀膜设备是在 它们可以重新沉积凝聚在基片表 直流溅射阴极靶中增加了磁场， 面形成薄膜。而离化后的 电子在 利用磁场的洛伦兹力束缚和延长 磁场的洛伦兹力和电场的的电场 电子在 电场中的运动轨迹，导致 力共同作用下，在靶表面附近以 气体分子的离化率增加，使得轰