T∕CCGA 30003-2019 超纯三氟化氮.docxVIP

ICS 71.100.20 G 86 团 体 标 准 T/CCGA 30003—2019 超纯三氟化氮Ultra pure nitrogen trifluoride 超纯三氟化氮 Ultra pure nitrogen trifluoride 2019 -10-29 发布 2020 - 01 - 29 实施 中国工业气体工业协会 发 布 T/CCGA 30003 T/CCGA 30003—2019 T/CCGA 30003 T/CCGA 30003—2019 目 次 前言 II 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 技术要求 1 4 试验方法 1 5 包装、标志、贮运及安全 4 6 安全警示 5 附录 A（资料性附录） 切割气路流程示意图 6 附录 B（规范性附录） 酸度（以 HF 计）的测定 7 参考文献 9 I II II 1 1 前 言 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。本标准由中国工业气体工业协会提出并归口。 本标准起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所、中国工业气体工业协会。 本标准主要起草人：郑秋艳、李翔宇、洑春干、孟祥军、孙秋丽、袁瑞玲、胡帅、曹红梅、宋芳芳。 T/CCGA 30003 T/CCGA 30003—2019 T/CCGA 30003 T/CCGA 30003—2019 超纯三氟化氮 范围 本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电解合成粗品三氟化氮，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志GB/T 5099 钢质无缝气瓶 GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分 光腔衰荡光谱法GB/T 6681 气体化工产品采样通则 GB/T 7144 气瓶颜色标志GB/T 14194 压缩气体充装规定气瓶安全技术监察规程 技术要求 超纯三氟化氮应符合表1的要求。 表1 技术指标 项目 指标 -2 三氟化氮(NF3)（体积分数），10 ≥ 99.999 -6 四氟化碳(CF4)（体积分数），10 ≤ 5 -6 氮(N2)（体积分数），10 ≤ 1 -6 氧+氩(O2+Ar)（体积分数），10 ≤ 1 一氧化碳(CO)（体积分数），10-6 ≤ 0.5 -6 二氧化碳(CO2)（体积分数），10 ≤ 0.5 -6 氧化亚氮(N2O)（体积分数），10 ≤ 0.5 -6 六氟化硫(SF6)（体积分数），10 ≤ 0.5 酸度(以HF计)（体积分数），10-6 ≤ 0.5 -6 水（H2O）（体积分数），10 ≤ 0.5 试验方法 抽样、判定和复验 PAGE PAGE 2 PAGE PAGE 3 从同一来源稳定充装的超纯三氟化氮气体构成一批，并建立批次的定义规则。一般以生产日期+ 充装位置定义产品批次，以便于产品追溯。 对于超纯三氟化氮(一般单独包装重量不小于 200 公斤)应按照表 1 的要求逐一检验，当各杂质指标符合表 1 的要求时，即可认为产品符合超纯三氟化氮的要求，产品中三氟化氮含量可利用差减法计算得到。 对于逐一检验的产品，当检验结果有一项不符合表 1 的要求时，应判定该产品不合格。 当客户要求产品包装较小（比如单独包装重量不大于 25 公斤/瓶）时，对不易受到外界环境影响的杂质，如酸度(以 HF 计)和水（H2O），可按照表 2 规定从每批产品中进行抽样，取样应当符合 GB/T 6681 中的相关规定，确保所取得样品的代表性。对容易受到外界环境影响的杂质，如氧+氩(O2+Ar)、氮(N2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、四氟化碳(CF4)、氧化亚氮(N2O)、六氟化硫(SF6)等气相杂质应逐一检测。 表2 瓶装超纯三氟化氮产品抽样表 每批气瓶数 最少抽样气瓶数 1 1 2～8 2 9～15 3 16～25 5 ＞25 8 对于抽检的产品指标，当抽检结果有一项不符合本标准要求时，应判定该批不合格或者转为逐一检测筛选合格产品。 超纯三氟化氮纯度 三氟化氮纯度按式（1）计算： 1 2 3 4 5 6 7 8 9Φ =100-（Φ +Φ +Φ +Φ +Φ +Φ +Φ +Φ +Φ ）×10-4 1 2 3 4 5 6 7 8 9 式中: 31 42 2Φ ——三氟化氮(NF )纯度的体积分数，10-2；