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微执行器导论 微执行器导论 微执行器导论 —读 书笔记 摘要： 微执行器可用来产生力与机械运动，就是微机电系统中的重要组成部分。根据敏感源与 执行方式的不同，微执行器主要分为静电执行器、热执行器、压电执行器、磁执行器等四大 类。本文从原理、制备及应用实例等方面分别对这几类执行器进行了详细的介绍，并简单总 结了不同执行器的独特性能与优缺点。 1、 简介 MEMS技术的迅速发展带来了传感器与执行器的革命性变化。传感器就是一种检测装 置，能感受到被测量的信息,并能将感受到的信息，并按照一左规律将其转换为电信号或英她 所需形式的信息输岀，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录与控制等要求。执行器 可接收控制信息并对受控对象施加控制作用，主要用来产生机械运动、力与扭矩。传感器与 执行器统称为换能器，利用换能器可以实现信号与能量的转换。目前受到广泛关注的能疑领 域有电能、机械能、化学能、辐射能、磁能与热能。一个系统的能量可以有一个或多个不同 的能量域组成，在不同环境下能量可以在各个能域之间进行转换。 由于MEMS的微小化与小尺寸效应，微执行器并非就是简单的传统机械的微型化，其驱 动方式与传统机械大有不同，甚至会采用多种执行机制来实现特左功能的微执行器驱动。微 执行器作为可动部分，其动作范用的大小、动作效率的高低、动作的可靠性等指标决左了系 统的成败，它就是微机电系统中最重要的环节。在微执行器的设计与选择过程中，有以下几个 标准必须考虑:⑴扭矩与力的输出能力;(2)位移范国;(3)动态响应速度与带宽;(4 )材料来源及 加工的难易程度;(5)功耗的能量的转换效率;(6)驱动偏苣函数的线性位移;(7)交叉灵敏度与环 境稳左性;(8)芯片占用面积等。这些因素在很大程度上影响微执行器的性能、生产成本的高 低以及商业化生产的程度等。因此，对微执行器的研究就是微机电系统的核心内容，就是超精 密加工技术发展的关键技术基础。 2、 执行器工作原理、分类及实例 微执行器将能量由非机械能的形式转化为机械能，对于某种特定的执行器驱动，通常会有 多种能量转换机制。由于对某一传感器与执行过程来讲，能量转换的形式有很多,如静电驱动、 电磁驱动、压电驱动、热敏感驱动、磁致伸缩驱动等，每一种转换途径都会要求不同的敏感 材料、加工方法及结构设il?等,本文将从这几个方面对不同驱动形式的微执行器作详细介绍 与对比总结。 2.1静电型微执行器 2.1. 1基本原理 电容器可以瞧成就是存储相反电荷的两个导体，当电容器的间距与相对位置因外加 激励而改变时，电容值也随之变化，这就就是静电敏感的机理。当电压（或电场）施加于两个导 体上时，导体之间就会产生静电力，称为静电执行。微型器件所具备的小质量与较大比表而积 等性能使得作为表而力的静电力具有很大优势应用于微执行器驱动源。电容器可以用做产生 力或者位移的执行器。电容式执行器利用的主要就是带有相反电荷的两个表而之间产生的静 电引力，静电斥力的应用较少，根据电极的几何结构来分，电容器主要有平板电容器与叉指（梳 状驱动）电容器。下而将对这两种结构的原理、应用等进行详细介绍。 2. 1.2平行板电容微执行器 平行板电容器就是静电型微执行器的基本结构，狭义上来讲，它就是由两个宽度方向相 互平行的导体平板构成的。当施加电压时，两平行极板间的静电引力为： 2d 其中C为电容,V为静电势,d为两极板之间的距离。由上式可以瞧岀，在其它条件不变的情况 下，静电力的大小随着平板间距的减小与静电势的增大而迅速增加。静电力就是一种短程力, 当间隙在几个微米量级时最为有效，电容式静电执行器的电压上限取决于电介质的击穿电 压。目前应用最多的就是垂直于电极的线性运动与转动,可通过增大初始间距来产生更大的 运动范围，但力的大小却因此受限，故应注意运动范伟I与可用力的性能折中，目前可通过一种 抓爬式执行器设计来获得远距离的面内运动。 大多数静电执行器至少包含一个由弹簧支撑的可变形平板?在该类器件的设讣中要考 虑可变形平板在某一偏置电压下引起的静态位移大小。当施加电压时,两平板之间会产生静 电力,静电力使得平板间隙有减小的趋势，从而引起位移与机械回复力。平衡状态下两个力等 大反向。对于恒左的偏置电压，机械恢复力随着极板位宜线性变化，与静电引力在多个位移处 相交，但只有一个就是稳左的。可产生稳左位移的偏巻电压上限成为吸合电压Vp.当偏宜电压 继续增大超过Vp,两种力的F-x曲线再无交点，即静电力无法平衡机械恢复力，静电力继续 增大,两平板间距迅速减小直至完全接触到一起，该现象称为吸合，至此重新机械力与静电力 重新达到平衡。引起吸合所需的电压与位移对于静电微执行器的设汁至观重要，可以通过解 析模型获得，动态系统的吸合效应对系统的性能有着至关重要的影响。 2. 1 . 3叉