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环境增湿 环境相对湿度增加，则非导体材料（衣服、工作台等）表面的电阻减小，使物体积蓄的静电荷可以更快地泄露。 防静电的场所，在工艺条件许可时，可以安装空调设备、喷雾器以提高空气的相对湿度消除静电。一般情况，用增湿法消除静电的效果是很明显的。 静电防护指导培训 电子工业中的静电问题 静电防护指导培训 静电对电子生产制造业的危害 1）吸附尘埃 2）静电放电及感应干扰 3）静电场感应及放电 静电防护指导培训 静电场感应及放电 当元器件置于静电场中感应带电时，在元器件或芯片氧化膜两端及结构金属突出部位因尖端效应可感应出较强的电场，因各点对地电位不同，当电场强度超过某结构点绝缘强度阈值时，就可导致介质之间或结构点之间静电击穿（或软击穿），使元器件失效或品质降低。 静电防护指导培训 吸附尘埃 静电之所以有吸附效应是因为静电荷产生的电场力。 一般绝缘材料产生静电后，每平方厘米静电力很小，对重物毫无作用，但对质量仅为几毫克以下的毛发、尘埃、纤维的吸附作用则非常明显。 静电吸附尘埃对微电子生产制造业影响很大，如果在生产过程中的芯片产生静电，吸附一颗直径几微米的尘埃，即可造成几十至上百根芯线之间的绝缘强度降低，造成短路使芯片损伤。 静电防护指导培训 静电防护指导培训 静电放电及感应干扰 静电放电可以使集成电路芯片绝缘层击穿，芯线熔断，漏电流增大加速老化、电性能参数改变等等。 另外，静电放电可产生从低频到几兆赫兹的宽频带干扰。 静电放电对芯片损坏具有潜在和缓慢失效性，这种情况危害性更大。 静电防护指导培训 静电防护指导培训 人体与IC的不同电位产生的静电放电 静电防护指导培训 静电放电敏感器件 SSD：静电放电敏感器件 ESD：静电放电 ESDS：静电放电敏感 对于易受静电放电损坏的微电子器件（组件）称为静电放电敏感器件。 半导体器件的静电损伤，大体上可分为两类失效模式：突发性完全失效和潜在性缓慢失效。器件的突发性失效约占10%，潜在性缓慢失效占90%左右。 静电防护指导培训 静电损伤 突发性完全失效 突发性完全失效是器件的一个或多个电参数突然劣化，完全失去规定功能的一种失效。通常表现为开路、短路以及电参数严重漂移。 潜在性缓慢失效 对某些集成电路，虽然PN结已受到静电放电损伤，但电路的电参数退化并不明显，只给电路留下了隐患，使该电路在以后的加电工作中，参数退化逐渐加重，因此，这种静电放电损伤具有潜在性和积累性的特点。 静电防护指导培训 静电防护指导培训 SSD分级 目前国内的电子行业大都是用HBM（人体模型）分级，根据标准GJB1649-93《电子产品防静电放电控制大纲》 Ⅰ级：敏感电压范围0~1999V Ⅱ级：敏感电压范围2000~3999V Ⅲ级：敏感电压范围4000~15999V 一般光电器件（发光二极管、光敏器件、光耦合器）属于Ⅲ级 EMCORE的激光器数据手册要求ESD电压范围是±500V，属于Ⅰ级。 静电防护指导培训 静电防护指导培训 静电防护指导培训 静电防护培训 静电防护指导培训 电工安全知识 静电基本概念 静电防护原理 电子工业中的静电问题 防静电工艺要求及质量管理 静电防护指导培训 电工安全知识 静电防护指导培训 电工安全知识 电气安全包括人身安全与设备安全两方面。 人身安全：是指电工及其他参加工作人员的人身安全。 设备安全：是指电气设备及其附属设备、设施的安全。 静电防护指导培训 安全电压和电流 安全电压：是人体长期保持接触而不致发生电击的电压系列。一般是36V，潮湿环境12V。 安全电流：是指流过人体不会产生心室纤颤而导致死亡的电流。安全电流应为30mA及以下，在有高度危险的场所为10mA，在空中或水面作业时则为5mA ，防静电系统的安全电流规定为5mA。 流过人体的电流和人体对地的绝缘电阻和所接触的电源电压大小有关。 静电防护指导培训 安全保护接地 安全保护接地的概念：接地作为零电位，用来连接设备金属外壳，保护人员不受伤害。 安全保护接地： 1）安全保护接地的电阻值一般要求不大于4Ω。 2）安全保护接地的接地电阻很小，接地短路电流流过时所产生的压降很小，故外壳对大地的电压不高。 静电防护指导培训 静电基本概念 静电防护指导培训 静电基础知识 1、静电的产生 1）接触起电 当两个不同的物体相互接触时就会使得其中一个物体失去一些电荷带正电，而另一得到一些剩余电子的物体带负电。若在分离的过程中电荷难以中和，电荷就会积累使物体带上静电。 例1、脱衣服产生的静电是“接触分离”起电。 例2、摩擦起电是一种接触又分离造成正负电荷不平衡的过程。实质上是接触分离起电的一种。 静电防护指导培训 2）感应起电