哈工大-精密和超精密加工技术-大作业.pdf

《精密和超精密加工技术》课程 大作业 院 （系） 英才学院 专 业 机械设计制造及其自动化 姓 名 xxx 学 号 612xxx 班 号 1236xxx 完成日期 2015.7.8 哈尔滨工业大学机电工程学院 2015 年 目 录 I LIGA 技术及其应用 摘 要：微电子机械系统（MEMS ）技术的兴起及其在现代信息社会中的广泛应 用，推动了能实现高深宽比三维微细加工的 LIGA 及准 LIGA 技术的迅速发展。 本文介绍了 LIGA 相关技术的发展状况并举例说明了它们在射频、光学等方面上 的一些应用。 关键词：三维微细加工；LIGA 技术；UV-LIGA 技术 The Development and Application of LIGA Abstract: LIGA and quasi-LIGA technologies used for high aspect ratio 3-D micromachining were accelerated by the rise and wide applications in information society of MEMS (micro-electro-mechanical systems) technology. LIGA and related technologies are presented, and the applications of these technologies are illustrated for examples. Keywords: 3-D micromachining ；LIGA technology ；UV-LIGA technology 1 前言 随着 MEMS 技术的发展和人们在微机械制造方面所取得的成就，对各种微 执行器、微传感器等微结构的制造方法的研究成为 MEMS 技术研究的一个热 点，同时微机械制造技术也是 MEMS 技术向更高层次发展的推动力。微结构的 广泛应用直接导致 MEMS 市场对三维微机械部件的需求量呈指数增长。因此， [1] 三维微细加工技术就成为 MEMS 技术非常重要的工艺技术之一 。 LIGA 是德文 Lithographie 、Galvanoformung 和 Abformung 三个词的缩写，是 X 射线深层光刻、微电铸和微复制工艺的完美结合，20 世纪 80 年代由德国卡 尔斯鲁尔核研究中心开发而成。LIGA 技术自问世后, 发展非常迅速, 德国、美 国和日本都开展了该技术领域的研究工作。LIGA 技术是一种利用同步辐射 X 射线制造三维器件的先进制造技术。它由 X 射线掩模板制备、同步 X 射线光刻、 微结构模具、微电铸和微复制工艺组成，用 LIGA 技术可以进行微器件的大批 量生产,使成本大大降低。 LIGA 技术主要有以下几个特点：  它的产品具有很大的结构强度，因而坚固耐用，实用性强；  LIGA 产品可以用多种材料制备，如金属、陶瓷、聚合物等；  可以直接生产复合结构。并同时具有电路制作能力，便于制作机电一体 化产品；  可以获得亚微米级精度的微结构；