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无尘室系统的维护保养管理 无尘室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养 做一概略说明。 无尘室内之生产制造设备注意之重点有三： 生产设备之选择、布置与保养： 要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。 应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。 生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。 规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。 真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。 设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。 生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。 应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。 当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。 对于施工或维修之厂商，应告知进岀无尘室之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。 应有无尘室专用工具组，但不得带出无尘室外使用。 规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。 生产设备之防尘措施： 磨损、切削均为发生微尘之原因，故需将发尘部分掩盖之。 易产生尘埃之设备，若能的话应布置于风尾地点。 在操作时，尽量减少接触零件或产品。 不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近之灰尘。 各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。 为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。 自动化与无尘化： 设立自动化传送系统，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，须详加评估。 建立管制项目如进入无尘室人员的资格限定，无尘室作业人员作业规则，无尘室管理规则等，这些 规则已在前面章节叙述，此处不再说明。 在无尘室之维护管理方面，可分三部分加以说明： 建筑物之维护管理： 建筑物内定期检查清洁。 地板之清扫管理及损坏更新。 隔间墙及天花板检查清洁和封补。 窗户及门之保养等。 环境测定与管理： 无尘室内之运转环境状况如温、湿度及微尘粒子数应每日定期量测，以确实掌握质量，若有数据异常, 可立即做紧急处理。 防尘空调设备之维护管理： 温、湿度及尘埃浓度管理，在前面以述及，唯其量测仪器应做定期校正检验，若有设备移动或施工 时须做局部测量。 过滤网之管理：定期检查及更换，表 6为各种过滤网之检查及更换周期。 空气调节器管理：定期检查隔板接缝及内部污染状况，冷热盘管是否有腐蚀现象。 送风机之管理：定期检查送风机运转状况。如表 7所示为送风机之各项检查内容及周期。 风管及岀风口之管理：检查风管是否有腐蚀、污染、尘埃堆积或保温脱落等。 测试及量测仪器管理：定期校正及保养。 室内压力管理：连续监视室内压力记录，以维持正压为基准。 冷冻主机、泵浦、锅炉及冷却水塔之管理：定期检查保养及记录运转状况及水质变化分析，以调整 加药量等。 无尘室停止运转再开机要点管理：启动后立即进行微尘粒子之测试，须无尘室恢复稳定正常时再开 始作业。 无尘室内用品的管理 无尘室内用品除了进岀无尘室用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、口罩外，尚有如纸张文具、桌子、 椅子、芯片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、吸尘器等。 洁净衣之材料以洗后或使用其它处理后仍不会发尘者为基本条件，且其布料为不易燃烧、不起毛，其 织法或布料之组织不易通过污染物和不附着污染物之材质，另外经过磨擦不产生静电或带电性非常小，洗 涤再生容易、不易皱、着衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材质为无尘纸或无纺布制成，帽子材质则与 洁净衣相同，二者在穿戴使用时，除了只露岀眼睛和脸表面部分外，其它部分均需包覆，在头部部分连接 上衣处也必须全盖住，不能留有空隙，头发亦不能露岀来。无尘室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件， 容易洗涤，底则采用塑料底，布质部分则采用与洁净服相同材质即可，鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全 塞入紧密包着。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂（ Vinyl ），在使用过程中若有 不舒适感或妨碍手指触感者则停止使用，手套表面有粉质时须去除或停用，原则上不使用有粉之 Vinyl手 套为佳。 洁净衣鞋帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在无尘室内进行。并以纯水配合清洁溶剂，并 经约0.2 口 m之过滤器为之。一般洗涤周期视洁净度等级而定，在高洁净区（ CLASS1为2~3天，其它区域 则为五天至一星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洁净衣之置放场所亦须为无尘室，备用品或新品存放柜 内，正使用者则吊挂衣架上，以方便取用。 桌椅一般以不锈钢材质，并需表面加工处理为之，若不得不使用镀锌品或木制品，其表面须施环氧树 脂（Epxoy）加工以防表面发尘。工作桌