特种气体管道的设计与施工.pdfVIP

. 特种气体系统的设计与施工 前言：一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使 用 50 种不同的电子气体。其中大部分为特种气体。本文就特种气体系统的设计与施工方面 做一个简单描述。 关键词：特种气体 气瓶柜 316L EP 一：概念 特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压 力等参数的控制， 通过管道、 无二次污染、 稳定的输送到工艺设备的用气点。 其基本流程是： 气源 控制柜 管道传输 VMB 用气点 二：分类 特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气 体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。 三：供气系统的选择 1. 简单供气系统 简 单 供 气 系 统 主 要 针 对 4 英 寸 及 以 下 半 导 体 芯 片 厂 、半 导 体 材 料 的 科 研 机 构 以及 一 些 单 台 的 工 艺 设 备 等 。它 们 的 制 程 简 单 ，通 常 不 需 要 连 续 性 供 气 ，对 气 体 供 应 系 统 的 投 资 预 算 低 。 由 于 气 体 流 量 小 ，不 经 常 使 用 ， 特 种 气 体 气 源 多 采 用 普 通 钢 瓶 （50L ） 。 输 送 系 统 多 采 用 半 自动 气 瓶 柜 或 气 瓶 架 加 简 单 的 控 制 面 板 ；配 置 继 电器 控 制 ，自 页脚 . 动 切 换 ，手 动 吹 扫 ，手 动 放 空 ，有 害 性 气 体 配 备 紧 急 切 断 阀 。惰 性 气 体 瓶 架 则 采 用 全 手 动 系 统 ，有 些 甚 至 用 单 瓶 系 统 。所 有 气 体 共 用 一 个 气 体 房 ，甚 至 没 有 气 体 房 ，特 气 钢 瓶 和 输 送 系 统 有 时 放 在 回 风 夹 道 ，或 直 接 放 在 工 艺 制 造 设 备 旁 边 或 隔 壁 。如 果 没 有 特 别 危 险 气 体 一 般 共 用 一 个 抽 风 系 统 。简 单 供 气 系 统 通 常 存 在 安 全 隐 患 。 2. 常规供气系统 常 规 供 气 系 统 主 要 应 用 于 4-6 英 寸 大 规 模 集 成 电 路 厂 ， 50MW 以 下 的 太 阳 能 电池 生 产 线 ， 发 光 二 极 管 的 芯 片 工 序 线 以 及 其 它 用 气 量 中 等 规 模 的 电子 行 业 。 对 气 体 纯 度 控 制 的 要 求 不 苛 刻 ，系 统 配 备 在 满 足 安 全 的 前 提 下 尽 量 简 单 ，节 省 投 资 。 字 串 8 特 种 气 体 采 用 普 通 钢 瓶 （50L ）供 气 。 特 气 输 送 系 统 采 用 气 瓶 柜 。 配 置 全 自动 PLC 控 制 器 ，彩 色 触 摸 屏 ；气 体 面 板 采 用 气 动 阀 门和 压 力 传 感 器 ，可 实 现 自 动 切 换 ，自 动 氮 气 吹 扫 ，自 动 真 空 辅 助 放 空 ；多 重 安 全 防护 措 施 ，泄 漏 侦 测 ，远 程 紧 急 切 断 ； 专 用 氮 气 吹 扫 起 源 等 等 。 VMB 采 用 支 路 气 动 阀 ， 氮 气 吹 扫 ，真 空 辅 助 排 空 。 惰 性 气 体 多 采 用 半 自动 气 瓶 架 ， 继 电 器 控 制 ， 自动 切 换 ， 手 动 吹 扫 ， 手 动 放 空 ； VMB 主 管 气 动 阀 ， 氮 气 吹 扫 ； 支 路 气 动 阀 ， 氮 气 吹 扫 ， 真 空 辅 助 排 空 。 气 体 房 和 抽 风 系 统 根 据 气 体 性 质 进 行 分 类 。 3.大宗特气供气系统 大 规 模 供 气 系 统 主 要 针 对 大 规 模 量 产 的 8-12 英 寸 （1 英 寸 =25.4 毫 米 ） 超 大 规 模 集 成 电路 厂 （气 体 种 类 包 括 SiH 、 N O 、 、 C F 、 NH 等 ） ， 100MW