2洁净室尘埃粒子检测基准.docVIP

XXXX XXXX 洁净室尘埃粒子检测基准 1.0目的 ?规范公司洁净室尘埃 粒子检测方法，以使洁净室达到洁净要求 2.0范围 适用于公司所有洁净室（含镀膜、丝印、超声波、贴膜、组检车间） 3.0职责与权限 3.1实验室：定期定点对洁净室尘埃粒子检测，并出示检测报告。 3.2质量部部长：审批检测报告 3.3洁净室各部门主管：对检测不合格进行整改。 4.0执行标准 美国联邦标准（USA Federal Standard 209E（1992年）） 洁净度级别 粒径（μm）?单位：pc/ft3 0.1 0.2 0.3 0.5 5.0 1 35 7.5 3 1 NA 10 350 75 30 10 NA 100 NA 750 300 100 NA 1000 NA NA NA 1000 7 5000 NA NA NA 5000 35 10000 NA NA NA 10000 70 ? 5.0内容： ??5.1检测仪器的操作： 5.1.1打开仪器侧面的电源开关，GT-321屏幕上显示0.3u。如果屏幕无显示，请检查并调节LCD背光源对比度或检查电池是否需要充电。 5.1.2每次开机，默认测试粒径为0.3u，可以按SELECT键依此选择0.5u，5.0u，测试粒径。选择好测试粒径后， 按START键开始测试，这时可听到内置气泵运转的声音。6秒钟后屏幕显示大于等于所选粒子个数（每立方英尺），仪器会不间断地再测试9 次（每6秒取样1次），1分钟后屏幕显示的最终测量结果为10次的平均值。 5.1.3采用随机附带的Isokinetic采样头可以避免风流对测试精度的影响，特别是测量小粒径的颗粒时应采用Isokinetic采样头。将采样 头一端的软管接到GT-321的进风嘴上即可。可以加长采样头的软管，但会影响测试精确度，软管不要超过4英尺（1.2米）。 5.1.4测量位置会影响测试结果，测量时应把采样头正对风流方向，并保持稳定。 5.1.5将测试结果记录在测试报表上。 5.1.6仪器校准： ?????a)空气泄露或仪器内部被污染都会影响测试结果的正确性，应定期对仪器进行校正，将配套的过滤效率为0.2um的高效过滤器连接在进风口上，然 后开机，经过滤的洁净空气会清洁仪器，≥0.3um以上的微粒会被清除（效率达到99.99%以上），这时选择测试≥0.3um的微粒，测试时间为60 秒，结果应该为0。 ?????b)过高或过低的风量都会影响测试结果的正确性，应定期对仪器进行校正，采用精度为+/-3%的风量计（可选热敏式风量计），将风量计连接在进 风口上，然后开机，风量计读数应在0.1CFM+/-5%范围内，如果超出该范围，可用小起子伸进GT-321底部，顺时针方向增加风量，逆时针方向减少 风量 5.2取样点的设置 ??5.2.1暂规定共42个取样点（分别在组检、丝印、贴膜、超声波清洗、超声波（检验）/镀膜等车间）。见附图。则取样点位置仅为参考， 取样点依据车间工艺布局而改动。? 5.2.2取样点应在相应位置的作业台面，采样时采样头朝上。见附图。 ??5.2.3取样点检测数据须填写在报告的对应位置。 5.3取样时机 ??5.3.1每周对采样点进行常规检测2次。 ??5.3.2洁净室进行保养（如进行更换中高效过滤器）或5S大扫除后需进行检测； ??5.3.3遇上长假日（如春节），洁净室停开一段时期后重开需检测； ??5.3.4出现异常（包括产品质量异常）时因分析而需检测。 5.4检测报告公布与异常处理 ??5.4.1检测员完成所有采样点检测后，需如实的填写检测数据； ??5.4.2针对出现异常的采样点，检测员需填写异常联络单，需要时交质量部部长签名确认； ??5.4.3相关部门负责人需针对异常情况作出相应的改善措施； ??5.4.4检测员需对改善后的情况进行复测。 6.0附件 ?????6.1洁净室采样示意图。 无尘车间尘埃粒子测试操作规程 一、准备：1、从包装盒内取出无尘车间尘埃粒子测试仪器以及采样头。 二、操作：1、将高效过滤器连接在进风口上。2、打开仪器侧面的电源开关。GT-321屏幕显示0.3um,如果屏幕无显示，请检查电池是否需要充电。3、每次测试时请校准仪器，将配套过滤效率为0.2um的高效过滤器连在进风口上，然后开机，经过滤的洁净空气会清洁仪器，≥0.3um以上的微粒会被清除（效率达到99.99％以上），这时选择测试≥0.3um的微粒，测试时间为60s，结果为0.4、校正好以后，换上Isokinetic采样头，然后以按SELECT键依次选择0.5um，5.0um测试粒径。5