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溅射离子泵控制仪
溅射离子泵控制仪
使
使
用
用
说
说
明
明
书
书
上海三井真空设备有限公司
上海三井真空设备有限公司
一、概述
一、概述
溅射离子泵控制仪是为离子泵配套的控制电源，它用来满足离子泵的启动
溅射离子泵控制仪是为离子泵配套的控制电源，它用来满足离子泵的启动
和正常工作。被广泛用于加速器、表面物理、真空储存环、材料研究、电子显微
和正常工作。被广泛用于加速器、表面物理、真空储存环、材料研究、电子显微
镜、宇宙模拟、质谱仪、大功率激光研究、电真空器件等领域。
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SP-8L/S SP-30L/S SP-70L/S SP-100L/S SP-200L/S
SP-8L/S SP-30L/S SP-70L/S SP-100L/S SP-200L/S
本公司生产有 、 、 、 、 、
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SP-400L/S SP-600L/S SP-1000L/S
SP-400L/S SP-600L/S SP-1000L/S
、 、 等规格的离子泵及控制仪，每一规格均有二
、 、 等规格的离子泵及控制仪，每一规格均有二
SP1000A/100A
极式和三极式二种类型。SP1000A/100A 型溅射离子泵控制仪是一种普通而常用
极式和三极式二种类型。 型溅射离子泵控制仪是一种普通而常用
的离子泵电源。它具有价格便宜、直观简单、使用方便等特点，适用于各种规格
的离子泵电源。它具有价格便宜、直观简单、使用方便等特点，适用于各种规格
的离子泵。根据泵的种类，电源有二极式和三极式二种，二极式输出正高压，
的离子泵。根据泵的种类，电源有二极式和三极式二种，二极式输出正高压，
100L/S 100L/S 1/2
三极式输出负高压。100L/S 以上为上架式标准机箱，100L/S及以下为上架式 1/2
三极式输出负高压。 以上为上架式标准机箱， 及以下为上架式
标准机箱。
标准机箱。
二、主要技术参数：
二、主要技术参数：
序
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