气体纯化的技术.ppt

气体纯化技术 技术基于： Purification ? 基于“ FAB” 模式纯化所有的大宗气体（ N 2 、 O 2 、 Ar 、 He 、和 CAD ） ? 可以将纯度低于 1ppb 的气体纯度提高到 0.1ppb ? 产气流量范围从 10M3/hr 到 3000M3/hr 。 ? 对大量的特气也能纯化。 Pure Gas Technologies ? 吹扫 / 柜式纯化器 ? 点使用式纯化器 ? 区域纯化器 ? 大型纯化器 Bulk Gas Purification Technologies ? 材料及操作原则 ? 杂质去除 ? 应用 Materials Getters: 均质金属（无支撑）：球状 锆、钒、钛 Supported Metals: 支撑性材料、反应金属：球状 铜、镍、铂、保护性物质 Zeolites ： 均质金属：球状、分子筛 Operation ? 纯化进程 1 、催化氧化 2 、物理吸收 3 、化学吸收 催化氧化 ? 催化氧化进程：将甲烷、非甲烷碳氢化合物 氧化 CO 2 和 H 2 O 。 ? 方法：催化器 + 加温 +O 2 ? 保护性物质 + 铂， 300~400 ℃ ，富氧环境 ? 反应过程： 2H 2 +O 2 =2H 2 O 2CO+1O 2 =2CO 2 1CH 4 +2O 2 =1CO 2 +2H 2 O 催化氧化 N2/Ar O2 CO H2 CH4 H2O CO2 CO2 H2O Pd Pd O O O2 Pd O 物理吸收 ? 分子筛 ? 优点： 1 、能有效去除 CO 2 与 H 2 O （不去除 O 2 ） 2 、筒室温度可控 3 、进程在高温下完全可逆 ? 缺点： 1 、常量普通 物理吸附 N2/Ar O2 CO H2 CH4 CO2 H2O CO2 H2O H2O H2O CO2 化学吸收 ? 支撑性金属（吸收器）：铜、镍、等 ? 优点： 1 、金属能化学吸附 O 2 、 CO 、 H 2 2 、金属网格能物理吸附 H 2 O 与 CO 2 3 、筒室温度可控 4 、进程在高温下完全可逆： NiO+H 2 + 加温 =Ni+H 2 O 5 、局部压力不会造成重大影响 化学吸附 —— 支撑性金属 N2/Ar CO H2 H2O CO2 Ni Ni O O2 Ni O O Ni Ni 化学吸收 ? 捕获器：锆、钒、钛、等 ? 优点： 1 、化学方式吸收 N 2 、 CH 4 、 O 2 、 H 2 O 、 CO 、 H 2 、 CO 2 2 、 筒室温度可控（低产量）或加热过程最优化 3 、相对较高的产量 4 、局部压力不会造成重大影响 化学吸附 —— 捕获器 He/Ar H Zr Zr O O2 Zr N C Zr CO2/ CO N2 CH4 热扩散 表面杂质 扩散至大宗气体 300-400 0 C ZrC ZrN ZrO 氧气纯化工艺 催化床 吸附床 物理吸附 H 2 O H 2 CH 4 CO +O 2 CO 2 +H 2 O CO 2 PS6 装配图 仪表气体系统图 PS6 纯化器人机界面 ? STATUS 指示性的显示系统状态 ? TIME 为当前进行步骤计时 ? TEMP PRESSURE 指示性的显示当前的压力 温度 ? FLOW 当前进程气体流量数 人机界面按键 ? 在任何界面下激活目录条 ? 回到主界面 ? 在任何界面下进入报警和警告界面 ? 关闭报警声 提高 / 减低所需值 在多个文档中切换 人机界面操作 ? 按下 后出现的界面： Restart ：启动初纯化器，或者在 出现报警后取消报警并重启纯化器。 Details: 深入显示当前系统的控制 点参数。 Alarms: 激活报警界面，显示激活 的报警，警告及信息。 Events: 激活历史事件表，显示最 多 500 条历史事件。