薄膜干涉课件.ppt

分析与讨论： 1. 透射光的干涉： 2. 光程差是入射角的函数， 这意味着对于同一级条纹具 有相同的倾角，故称这种干 涉为 等倾干涉 . 等倾干涉 ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2 sin 2 2 2 1 2 2 ? ? i n n d 薄膜厚度均匀 ( e 一定 ) ， 光程差 δ 随入射角 i 变化 等倾条纹的的干涉图样 : ? ? k i n n d ? ? ? 2 2 1 2 2 sin 2 —— 无半波损失 3. 光线垂直入射时，反射光 的光程差为： 2 2 2 ? ? ? ? e n 1 等倾干涉条纹是一组内疏外密的同心圆环，越向内，级 次越高。入射角减小，圆半径减小。 等倾干涉 特点：倾角相同的光线对应同一条干涉条纹 增反膜 利用薄膜干涉原理，使薄膜上、下表面对某种色光的 反射光发生相长干涉，其结果是增加了该光的反射，减少了 它的透射 . 增透膜 在透镜表面镀一层厚度均匀的透明介质膜，使其上、 下表面对某种色光的反射光产生相消干涉，其结果是减少了该 光的反射，增加了它的透射 . 2 增透膜 2 ) 1 2 ( 2 2 ? ? ? ? ? k dn 增反膜 加强 ZnS 玻璃 n 2 = 2.34 n 3 = 1.50 n 1 = 1 ? ? k dn 2 2 2 2 ? ? MgF 2 减弱 玻璃 n 2 = 1.38 n 3 = 1.50 n 1 = 1 4 ? ? nd 例 . 照相机透镜常镀上一层透明 薄膜，目的就是利用干涉原理减 少表面的反射，使更多的光进入 透镜 . 常用的镀膜物质是 MgF 2 ， 折射率 n=1.38 ，为使可见光谱中 ? =550nm 的光有最小反射，问膜 厚 e = ？ 解 : k =0,1,2,… 2 ) 1 2 ( 2 2 ? ? ? k e n n 2 =1.38 n 3 =1.50 n 1 =1 依题意反射光干涉最小上下表 明都有半波损失，故 3 nm 6 . 99 nm 38 . 1 4 550 4 2 m in ? ? ? ? n e ? 对应于最小厚度， k = 0, 得 到 例 . 照相机透镜常镀上一层透明 薄膜，目的就是利用干涉原理减 少表面的反射，使更多的光进入 透镜 . 常用的镀膜物质是 MgF 2 ， 折射率 n=1.38 ，为使可见光谱中 ? =550nm 的光有最小反射，问膜 厚 e = ？ 解 : k =0,1,2,… 2 ) 1 2 ( 2 2 ? ? ? k e n n 2 =1.38 n 3 =1.50 n 1 =1 依题意反射光干涉最小上下表 明都有半波损失，故 4 等厚干涉 1. 劈尖干涉 空气劈尖 介质劈尖 n （ 1 ）干涉情况分析 n θ λ e k e k+ 1 l 2 2 ? ? ? ? ne 光程差： 明条纹 ? ? ? ? ? ? ? ? 2 ) 1 2 ( ? ? k k 暗条纹 （ 2 ）相邻两暗（明）纹的间距 n e e e k k 2 1 ? ? ? ? ? ? 2 2 n n d ? ? ? ? ? ? ? ? ? n n l 2 sin 2 ? ? 相邻条纹间的距离： 5 （ 3 ）讨论： （ a ）利用劈尖可以测量微小 角度 θ ，微小厚度及照射光的 波长。 （ b ）在尖端是暗纹。 （ c ）对于同一级干涉条纹，具 有相同的介质厚度。 （ d ）干涉条纹的移动： 相邻条纹间的距离： ? ? ? ? n n l 2 sin 2 ? ? 明条纹暗条纹公式： 2 2 ? ? ? ? ne ? ? ? ? ? ? ? ? 2 ) 1 2 ( ? ? k k 6 应用一 薄膜厚度的测量 L d l N n d 2 ? ? 薄膜厚度： ? n l n l e L d 2 ? ? ? ? ? ? nl L d 2 ? ? l L N ? 条纹数 测量原理 在半导体元件生产中，测定硅片 上的二氧化硅薄膜厚度的常用方法 是：将薄膜的一部分磨成劈形膜， 通过观察垂直入射光在其上面产生 的干涉条纹，计算出厚度 . 7 说明 : ? k 反映了偏离直线条纹的程度 . 应用二 光学表面检查 e ? e 测量原理 8 若因畸变使某处移动了一个条 纹的距离， ? k =1 ，则 k- 1 k k+ 1 表面凸起 ? k e 1 ? k e k- 1 k k+ 1 表面凹陷 9 例 . 有一玻璃劈尖，放在空气 中，劈尖夹角 ? =8 ? 10 -6 rad. 波 长 ? =0.589 ? m 的单色光垂直入 射时，测得干涉条纹的宽度为 l =2.4mm ，求玻璃的折射率。 解： nl 2 ? ? ? l n ? ? 2 ? 53 . 1 10 4 . 2 10 8 2 10 89 . 5 3 5 7 ? ? ? ?