积层法印制板的发展动态.docVIP

积层法印制板的发展动态（一） 三菱电机公司使用的层间绝缘树脂有以下特点： （1） 玻璃化转变温度（Tg）高，耐热性良好，装载或更换元件时的耐热冲击性能优异; （2） 介电常数低，具有信号传递迅速，高频性能好的特点； （3） 高分辨率，微导通孔形成容易（开发H标：直径为50Mm的导通孔）。 绝缘树脂性能见表2。图4是使用上述材料用光致法导通工艺得到的直径为100Mm的良好导通孔 断面形状示意图。 项目 性能 玻璃化转变温度 密度 介电常数 介质损耗因数 体积电阻率 表面电阻率 导体粘合力 175° C (TMA 法) 1.22g/cm3 3.2 (1MHz) 0.015 (1MHz) 1.2*10电阻/cm 2.0* 1013 电阻/cm 1 .Okg/cm 表2光致法导通孔工艺用绝缘树脂性能 lOOum -? 层间绝缘膜 （想光牡轲居】 r 内层导体 图4用光致法形成的100卩0通孔截面形状（放大3（）（）倍） 导通孔形成工艺-一激光钻导通孔法 激光钻导通孔工艺小使用的激光机一般是短脉冲型二氧化碳气体激光机。该激光机输出功率高， 容易被玻璃吸收。因此 与树脂单体比较环氧玻璃布材料更容易进行激光钻孔加工，图5是二氧化 碳气体激光机在环氧玻璃布基材所钻孔的断面结构示意图。 lOOum lOOum 图5用激光钻孔法形成的lOOp0通孔截面形状（放大300倍） 菱机电公司利用上述激光机的加