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IR 090
热阴极电离复合真空计
使用说明书
BG 804 171 BE
目录
产品标识 有效范围 使用范围 工作原理 注册商标 1 安全
使用符号 人员素质 一般安全规则 赔偿责任与保修
2 技术参数
3 安装 真空连接 拆卸和安装电子学单元 安装延伸件 电源连接
与 COMBIVAC IT23 — 起使用
与其它测量仪器一起使用 4 运行
测量原理,测量特性 真空计工作原理 除气
RS232C 接口
功能说明
IR090 输出
IR090 输入
维护 维护 真空计调整 真空计清洗 安装障板 更换障板 更换规管 故障查找
拆卸
产品返修
附件
备件
10 废物处理 附录
测量讯号与压强的关系
气体种类与压强的关系 污染申报表
XY)。参阅其它文献,采用符号
XY)。参阅其它文献,采用符号(t[ Z])。
产品标识与 Leybold Inficon 联系时,请标明产品标牌上给出的信息。将 息复制在标牌的复印件上。
产品标识
有效范围
本说明书适用于下列件号的产品
不带显示器
120 90 (法兰 DN 25 ISO-KF )
120 92 (法兰 DN 40 CF-R )
-w 曰二
带显示器
120 91 (法兰 DN 25 ISO-KF )
120 94 (法兰 DN 40 CF-R )
产品的件号在标牌上标明。
本公司保留对说明书不预
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