电子厂工艺流程介绍：面板厂名词说明.ppt

Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2006 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2006 課程名稱 洁净等级相关说明 2013/09/10 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2006 ISO14644与FS209E比较 ISO14644是以0.1um粒子作为典型粒子; FS209E是以0.5um粒子作为典型粒子; 习惯以Class __@__um表达，或ISO Class __@__um表达。 面板厂常用洁净等级说明（Array制程） PHOTO---------Class 100@0.3um, 光刻区 其中TRACK为Class 10@0.1um ELA------ Class 100@0.3um 镭射晶化 CVD------ Class 1000@0.3um 化学气相沉积 PVD------ Class 1000@0.3um 物理气相沉积 IMP------ Class 1000@0.3um 离子植入 WET ETCH------ Class 1000@0.3um 湿蚀刻 （非金属膜） DRY ETCH------ Class 1000@0.3um 干蚀刻 （金属膜） STRIPPER------ Class 1000@0.3um 光阻剥离 RTA------ Class 1000@0.3um 快速退火炉 STK------ Class 10@0.1um OHS------ Class 10@0.1um L/UL------ Class 100@0.3um 装载卸载站 面板厂常用洁净等级说明（OLED-CELL制程） EVA---------Class 1000@0.3um, 蒸镀区 MASK CLEANER------ Class 10~100@0.3um 光罩清洗区 MASK STORAGE------ Class 100@0.3um 光罩贮存区 CUTTING------ Class 1000~10K@0.3um 切割区 MASK STK------ Class 10@0.1um AGV------ Class 100~1000@0.3um OTHERS------ Class 1000@0.3um 面板厂常用洁净等级说明(LED制程) ODF------ Class 1000@0.3um 液晶滴入 PI------ Class 1000@0.3um 配向膜 CF------ Class 100@0.3um 彩膜 SLIM------ Class 100@0.3um 玻璃薄化 UNPACK------ Class 10k@0.3um 拆包区 GLASS CLEANNING------ Class 10k@0.3um 更衣区 MODULE------ Class 1000~10k@0.3um 模组区 GOWN ROOM---------Class 10k@0.3um 更衣区 CFOG (驱动芯片及线路板热压连接 简报结束 谢谢！ Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2006 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute ? LK Engineering Co., Ltd. 2006 課程名稱