第5章薄膜应用.pptVIP

2021/2/11 * 铁电体的性质与结构 铁电体的基本性质就是铁电体的极化方向随外电场方向反向而反向。极化强度与外电场的关系曲线如图4所示,即电滞回线（hysteresis loop）。 由于晶体结构与温度有密切的关系,所以铁电性通常只存在于一定的温度范围内。当温度超过某一特定值时,晶体由铁电(ferroelectric)相转变为顺电（paraelectric）相,即发生铁电相变,自发极化消失,没有铁电性。这一特定温度Tc称为居里温度或居里点(Curie Temperature)。 2021/2/11 * 图4 铁电体电滞回线示意图 图4中PsA是饱和极化强度,Pr是剩余极化强度,Ec是矫顽场。 2021/2/11 * 在居里点附近铁电体的介电性质、弹性性质、光学性质和热学性质等,都要出现反常现象,即具有临界特性。 在Tc时,介电系数、压电系数、弹性柔顺系数、比热和线性电光系数急剧增大。例如:大多数铁电晶体,在Tc时介电常数可达104～105,这种现象称为铁电体在临界温度附近的“介电反常”。 2021/2/11 * 20世纪80年代以后,薄膜制备技术取得了一系列新的突破,众多先进的薄膜制备技术,如射频溅射(rf-sputtering)法、化学气相沉积(CVD)法、金属有机物沉积(MOD)法、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)法、溶胶-凝胶(Sol-Gel)法、脉冲激光沉积