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传感器技术的发展趋势 传感器技术的发展趋势 目前传感器技术巴从单一的物件型传感器进入功能更强大、技术高度集成的新型传感 器 阶段。新型传感器的开发和应用已成为现代传感器技术和系统的核心和关键。21 世纪 传感 器发展的总趋势是微型化、多功能化与集成化、数字化、智能化、系统化和网络化。 (1)传感器的微型化 微型传感器是以微机电系统(MEMS；Micr。—E1c 口 r c ， MechanMal sys 健 ms)技术为基础的。MEMs 的核心技术足微电子机械加工技术，主要包括体硅微 机械加 ] ：技术、表面抹微加工技术、[。I( ；A 技术(即 X 光深层光刻、微电铸和微复制技术)、 激光微加工 技术和微型封装技术答。微型传感器具有体秋小、质盟轻、反应仪、灵敏度南及成本 低等特点。 比较成熟的微型传感器有压力传感器、微加速度传感器、微机械陀螺等。 (2)传感器的多功能化与集成化 内于传统的传感器只能用于检测一种物理量，但在 许多 应用领域．为门 b 准确反映客观事物和环境，通常需要同时测量大量参数，力若下种 敏感元件 组成的多功能传感器应运而生，多种功能集成于—个传感器系统中，即在同一芯