机械工程测试技术-第3章常用传感器与敏感元件.ppt

2021/3/14 * 半导体敏感元件传感器 案例:亮度传感器: 通过检测周围环境的亮度,再与内部设定值相比较,调整光源的亮度和分布,有效利用自然光线,达到节约电能的目的。 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 2021/3/14 * 3. 单螺管型:灵敏度低 适:较大位移（数毫米）测量 4．双螺管线圈差动型：较单螺管型灵敏度 提高一倍， 较好的线性, 测量范围:0—300 , 分辨力: 0.5 2021/3/14 * (一) 涡电流式传感器 涡电流效应: 变换原理:金属导体在交变磁场中的涡电流效应 影响高频线圈阻抗 Z 、 自感L的因素 1.线圈与金属 2. 金属板的 3.金属板的 4.线圈激磁 板间距离 电阻率 磁导率 圆频率 测:位移 振动 厚度 测:材质 探伤 2021/3/14 * 测量电路: 阻抗分压式调幅电路: 变——电感 L 变——电压u变 2021/3/14 * 调频电路： 变——电感 L 变—— 转化为电压 u的变化 振荡器 f 变 涡电流传感器的特点: 动态非接触测量 范围: 1mm — 10 mm 分辨力:1 简单,使用方便,不受油液等介质的影响; 应用:位移,振动,测厚,探伤,材质鉴别,径向摆动, 回转轴误差,转速,零件计数,表面裂纹,缺陷等; 2021/3/14 * 二、互感型——差动变压器式电感传感器 工作原理:电磁感应中的互感现象 感应电动势: M:互感系数（ H ） M:大小与相对位置,介质的导磁能力, 线圈形状、大小、匝数有关 表明:两线圈之间的耦合程度; 螺管型差动 变压器传感器 2021/3/14 * 1.工作原理: 2. 测量电路:注意:零点残余电压的补偿; 位移正负的判断:相敏检波 3. 特点：精度高，可达0.1 线性范围大: 达 100 稳定性好,使用方便 4.适于:测直线位移,压力,重量等 螺管型差动 变压器传感器 2021/3/14 * 一、变换原理: 被测量——电容量的变化 （一）极距变化型 1. 工作原理: 灵敏度： ① ② 存在线性误差，故一般： (3). 实际应用时：差动式 第五节 电容式传感器 固定 ，变 极距变化型 固定 ，变 A 面积 固定 ，变 介质 2021/3/14 * 2.特点： 非接触动态测量,灵敏度高,测较小位移（达0.01 ) 线性误差，杂散电容对灵敏度及测量精度的影响，电子线路复杂； (二) 面积变化型 角位移型 平面线位移型 圆柱体线位移型 2021/3/14 * 面积变化型传感器的特点:① ② 灵敏度较低 适:较大直线位移及角位移的测量 (三) 介质变化型 变—— C 变 可测:材料的厚度,温度,湿度,液位高度的测量 2021/3/14 * 二、测量电路 电桥型电路 2. 直流极化电路 2021/3/14 * 3. 谐振电路: 4. 调频电路 2021/3/14 * 5. 运算放大器: 2021/3/14 * 应用 电容式传感器 案例1:电容传声器 案例2:转速测量 2021/3/14 * 第六节 压电式传感器 可逆型换能器: 机械能 电能 应用:力,压力,加速度的测量 工作原理:某些物质的压电效应 一. 压电效应 压电效应 逆压电效应 压电材料:石英,钛酸钡等 2021/3/14 * z—z: 光轴 x—x: 电轴 y—y: 机械轴 电荷量： :压电系数,与材质与切片方向有关 ：作用力 2021/3/14 * 二、压电式传感器极其等效电路 压电传感器:电荷发生器,又是一个电容器 压电传感器宜:动态测量 实际使用时芯片的连接 : 并联:电容大,电荷量 大,时间常数大; 适:缓变信号 串联:电容小,输出 电压大; 适:以电压输出 2021/3/14 * 压电芯片及等效电路: ：电缆寄生电容 :后续电路的输入 阻抗和传感器中的漏 电阻所形成的泄漏电阻; 三、测量电路 前置放大器 的作用 1.将传感器的高阻抗输出变为低阻抗输出 2.放大传感器输出的电信号 2021/3/14 * 不同前置放大器的特点: 电压放大器：受电缆电容影响较大，影响灵敏度； 电荷放大器：受电缆电容影响较小，灵敏度无明显变 化