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矢量多步法体积定位误差测量与补偿 导语：?本文介绍了多步法体积定位测量 [align=center]A theoretical analysis and application of sequential step volumetric measurementNi Lifeng Zhang Hongtao Wu Hao Yang Jianguo（Shanghai Jiaotong University）Charles Wang（Optodyne Incorporation, United States）[/align]Abstract：This paper introduces a method of sequential step volumetric displacement measurement. Because these error can be separated from the volumetric displacement error, it is convenient and fast to measure the volumetric positioning accuracy. Meanwhile, the software can automatically generate the compensation codes according to the measured data, then these codes would be loaded into CNC controller to improve volumetric positioning accuracy of the machine. Examples of machine error compensation verify the correctness and high efficiency of this method.Key words: Sequential step measurement, Volumetric Error, Error compensation.摘 要：本文介绍了多步法体积定位测量。由于这种方法可以分离出各误差元素，所以可以方便而快速地检测出机床的体积定位精度。根据测量出的误差数据生成误差补偿代码，对其进行补偿以提高机床体积定位精度，并通过实例来验证该测量方法的正确性及高效率性。关键词：多步测量，体积误差，误差补偿1．介绍 数控机床由于其本身的运动比较复杂，因此其运动过程中产生的各种误差相对来说也比较复杂。以三轴加工中心为例，有21项误差元素，包括3个线性误差，6个直线度误差，3个垂直度误差，3个俯仰角误差，3个偏摆角误差以及3个旋转角误差。传统的测量没有考虑俯仰角、偏摆角和旋转角的误差，精度不高，并且机床的体积定位精度的完整检测非常复杂耗时。鉴于上述原因，许多国际标准化组织提出沿体对角线进行测量的方法[1]。所谓体对角线就是指在空间直角坐标系中，由机床工作台三个进给方向上的最大行程所围成的长方体的对角线。国际标准化组织推荐该方法的主要原因是体对角线的测量对各种误差元素非常敏感。但是该法的一个比较大的缺陷是在测量过程中它无法获得足够的信息用于分离各误差元素，这样就很难对误差进行补偿[2]。 多步法体积定位测量考虑了角度的误差，这样就具有更高的精度。并且对测量出的结果进行补偿，这样才具有实际的意义。这种测量方法相对于传统的激光干涉测量（平行于机床的X轴、Y轴或Z轴）来说，测量简便，节时。体积定位误差由21项机床误差决定，测量的精确度由机床的重复度所确定。 这里应用该方法对两台数控机床进行了检测，再通过补偿，进而提高机床精度。2．三轴机床误差测量对于3轴机床，21项机床误差可表示如下：线性位移误差：Dx（x）、Dy（y）和Dz（z）水平平面内直线度误差：Dy（x）、Dx（y）和Dx（z）垂直平面内直线度误差：Dz（x）、Dz（y）和Dy（z）旋转角度误差：Ax（x）、Ay（y）和Az（z）俯仰角度误差：Ay（x）、Ax（y）和Ax（z）偏摆角度误差：Az（x）、Ax（y）和Ay（z）垂直度误差：Φxy、Φyz和Φxz在这里D指线性误差，下标是误差的方向，括号内为位置坐标，A为角度误差，下标为旋转轴。机床工作体积：x从x=0到X、y从y＝0到Y，z从z＝0到Z。 传统的体对角线测量法由于其检测的快速性曾经备受推荐。体对角线测量是沿体对角线方向移动主轴，到达体对角线上新的一点，此时可以测量到一个位移误差。假设主轴沿体对角线的位移是R，则所测量到的误差是位移R的位移误差dR，接着可以