洁净度等级对照.docxVIP

1-9 级可能是参照的 ISO 的标准 国际标准 , 一般我们所说的百级相当于 ISO5 级 万级相当于 ISO7 级 十万级相当于 ISO8 级 一百万级相当于 ISO9 级 1，洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级  还有著名的美国联邦标准（  Fed.St.209  系列） 可以参考； 2，ISO1644 的 ISO5 相当于  Fed.St.209  系列的  100 级（≥ 0.5  μ m粒子， ≤3.5  颗/ 升，或  100 颗/ft  3，或  3530 颗 /m3） 3，洁净度等级在 100 级以下者（ 1000， 10000 级等）通常用 0.5 μ m粒径考核的居多； 4，随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越来越小（见表）， 对粒子检测仪器的要求当然也越来越高， 对洁净室设计和施工方而言，用一个粒径（如 0.5 μ m）而要用到更多的粒径，如 0.3 μ m 0.2 μm 净室进行检测评定。  在验收时， 可能不止甚至 0.1 μ m对洁 ISO 1644 国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级 等于或大于相应粒径的最大允许浓度（粒 /m3） 0.1 μ m 0.2 μm 0.3 μ m 0.5 μm 1μ m 5μ m ISO1 10 2 ISO2 100 24 10 4 ISO3 1000 237 102 35 8 ISO4 10000 2365 1018 352 83 ISO5 100000 23651 10176 3517 832 29 ISO6 1000000 236514 101763 35168 8318 293 ISO7 351676 83176 2925 ISO8 3516757 831764 29251 ISO98317638 292511