电池产业化技术介绍.pptxVIP

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2021-04-01 发布于上海
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电池产业化技术介绍.pptx

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高效晶硅PERC电池产业化技术 1.PERC技术简介常规电池背面的光学和电学损失制约了效率的提升。 PERC技术提升效率机制——降低背面电学复合+增加内部光学反射。 2.PERC电池结构从结构上看，PERC电池仅比常规电池多一个背钝化层，氧化铝是目前产业化最好的钝化介质膜。正面金属电极正面镀膜磷扩散制PN结全铝背场背面金属电极背面钝化叠层局部铝背场 3.PERC电池生产流程增加2道工序双面制绒金属化后的PERC电池需改进工序 4.背面钝化技术——1 钝化原理：场效应钝化+化学钝化钝化效果监控：少子寿命测试 4.背面钝化技术——2 钝化方式的选择：PECVD。关键设备：SiNA改造,费用￥ 1000万+/套。 5.激光开槽技术目的：打通背面绝缘叠层，形成背电场与硅基体的电学通路。关键设备：武汉帝尔,费用￥ 100万+/套。图形：选择不同的打线或打点方案，可实现相同的电池效率。 532nm波长的纳秒级激光开线，约36um宽。 6.背面抛光工艺目的：削平金字塔塔尖，减少背表面悬挂键，降低表面复合速率，增加内反射。方法：改进现有刻蚀工艺的化学配方，在去PSG和边缘隔离的同时进行背抛工艺。目标：化学蚀刻厚度5~6um，表面粗糙度0.3~0.5um. 背面抛光效果， 500 × 7.扩散工艺匹配改进常规扩散工艺，获得更佳的长波响应。 8.背面局部金属化技术精选专用的低温浆料，配合特殊的烧结工艺，使得局部接触无空洞。无空洞局部接触 9.电池效率分布图 10. PERC单晶产品展示电池外观组件成品 2.PERC电池结构从结构上看，PERC电池仅比常规电池多一个背钝化层，氧化铝是目前产业化最好的钝化介质膜。正面金属电极正面镀膜磷扩散制PN结全铝背场背面金属电极背面钝化叠层局部铝背场 5.激光开槽技术目的：打通背面绝缘叠层，形成背电场与硅基体的电学通路。关键设备：武汉帝尔,费用￥ 100万+/套。图形：选择不同的打线或打点方案，可实现相同的电池效率。 532nm波长的纳秒级激光开线，约36um宽。 5.激光开槽技术目的：打通背面绝缘叠层，形成背电场与硅基体的电学通路。关键设备：武汉帝尔,费用￥ 100万+/套。图形：选择不同的打线或打点方案，可实现相同的电池效率。 532nm波长的纳秒级激光开线，约36um宽。