光学邻近效应矫正(OPC)技术及其应用_图文(精).docxVIP

  • 207
  • 0
  • 约1.18万字
  • 约 15页
  • 2021-04-03 发布于天津
  • 举报

光学邻近效应矫正(OPC)技术及其应用_图文(精).docx

光学邻近效应娇正技术及其应用盒上尺会曳介二刊壬帆翁仃蜒希斡金倒件帜出名空录创欠尸巴琴界心拿黑仗伍人此噪葛几卜苦富子苇弘二国内再巧卜金冲上久金严育乐星牛出个上女处何理人用矗鼻豪丘竟卜另世戛了囱注并沁黔虚剑逋梆呻入第肚触代宿为力刃力您咿只剑冷疋殳岁听证任中冷斜疋的事舟钦尺片氏削并右盲屮起审驰忒丹自冒甬嘏创蔬宦喑异机十最乱鼻革赋时和静叩旧需附斤即科韩甘淫十皿砂站气卜士中严廿站和上缶第期蔡懿慈等光学邻近效应矫正技术及其应用万其中为传递函数如果我们认为光学系统的输入光强是冲激函数之和即口口岛训则最后的输出

光学邻近效应娇正(OPC)技术及其应用 f W4IUQ?*di?績.■?cwc ?£a?WHH4 t. rtmwxf f ea?. ?? k?■盒 ■ x ch? ?ter Anv^iftvtwftweaii OFC 1 £ . #. :cw tw■? **???*?■?車4上?■?( wr?■?* a?■尺n.??■?会■毎???r曳■介 :cw tw■? **???*? f A ?W? 4B1tW. ?A J9!?I??XV ■二?:?■?; ?■.???■刊。??■■?■壬 ■?? anlaraR^oc■”?帆■翁wk??仃蜒? ji I ■■ i ,?*為希?????■??“■? 斡

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档