厂务系统概述..docxVIP

廠務系統槪述 莊士正 一 整廠系統 System Integration DATA COM. ? DATA Communication TELECOM ? SCADA- T?l?coiTvnunic?tkn Computer Integritioo Manufacture ry Control ?txl s3 UPW? ULTRA PURE WATER L9? UFE SAFETY CR- CLEANROOM PCW PROCESS COOLING WATER MEP- MECHANICAL ELECTTOCAL PLUMBING WWT- WASTE WATER TREATMENT SO - SPEClALrTY GAS BG- BULK GAS PD? PROCESS DRAIN BC. BULK CHEMICAL GIS GAS INSULATED SWITCHGEAR CDA- CLEAN DRY AIR SEC ? SECURITY FMCS- FACTORY MONfTORING AND CONTROL SYSTEM PV. PROCESS VACUUM PEX? PROCESS EXHAUST 1.廠務系統功能  1?2氣體系統在製程中的功能 Chemical 化學藥品 清潔清洗/濕式蝕刻製程需求 1.4真空系統在製程中的功能 基板吸引般移塵屑吸引清潔/頁空吸筆 基板吸引般移 塵屑吸引清潔/頁空吸筆 1.5排氣/排水系統在製程中的功能 Pump Line製程高真空Chambe i?製程轉換之高真空建立Exhaust排氣系統 Pump Line製程高真空 Chambe i?製程轉換之高真空建立 Exhaust 排氣系統 Chambe i?製程轉換之廢氣排除 Drain 排水系統 機台製程使用之廢DI /Chemi cal排放 2 ?廠務系統使用材質 2.1水系統使用材質 SUS 304 SUS 304禁油處理/高壓軟管 PCW 製程冷卻水 SUS 316L EP/雙套管/加熱套 2?3化學系統使用材質 例如溶劑類一SUS 316 BA 有機類 化學藥品 2.4真空系統使用材質 PVC SCH80/SUS 304 PVC SCH80/SUS 304 2.5排氣系統使用材質 SUS 316 BA/EP 鍍鋅螺旋風管 SUS 304全焊式不銹鋼風管 不銹鋼Teflon Coating風管(Tefpass) 2.6排水系統使用材質 PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFAAcid/Ak PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA Acid/Ak 酸鹼排氣水 3?廠務系統流程 3?1製程冷卻水系統簡略流程 冰水進 冰水出 3?2極系統簡略流程 冷卻水塔 冷卻水 述水主機 J環 冰水回 冰水岀 Water DM Filter rA 去除鈣鎂L/ Decarbo nator 去除CO2 WA Tower去除碳酸铤 SA Tower去除碳酸爭 RO TankRO進水槽 Mixed Bed /-i去除SiO2、」 Permeate Pit逆滲透底槽 RO Unit逆滲透膜 safety Filter 過濾器 uv Sterilizer紫外綿殺菌 Heat Exchange熱交換弟 Membra ne Degasifier 去除02 UPW Tank 純水儲槽 0 Cooler 冷卻器 UV Oxidizer 破壞有機鏈 UF Unit超限過膜 回水 RO.U 使用點 0 H2WUFUnit 超限過鴻膜 H2 Desolve Membrane H2除溶膜 H2 M.D. H2去除膜 H2 Cooler H2冷卻器 0 H2? UPW Tank 純水儲槽 t 回水 3?4自來水/ 回收水系統簡略流程 自來水自來水外脅水表牖離履供應管線使用點回收水 自來水 自來水外脅水表牖離履供應管線使用點 回收水 空氣中水份 令盤/空調雀 回收管線 回收水槽 使用點I 3.5 CDA/32/PN2系統簡略流程 CDA 两小阿G阪砒ISlGlSIilefl豔IG糜 o 使用點IQ匸證IQ回了 GN2/PN2 两 GI蠡检I液氮槽岭飯鯛小|減壓站口 |過濾器悼冏赢 |使用括螢Q CQC 3.6其他大宗氣體/特氣系統簡略流程 02 液氧儲槽|Q 国歸喇減壓站岭|過滤器岭|純化器? | QQC He/Ar/Kr/H2… He/Ar/Kr/H2… 鋼酬需e|Q |減壓站|Q |過濾器|Q |純化器|Q冋司Q匸證 O _ |使用點 Specialty Gas 蘇I Q |鬣翳忖I管線］QES Q［管線I G 豐蚩丨6*1斜5趣詢ai尊时辭 AH diund diund Ad 1^10 bqqmTQ国忌1创 前|0帘