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第五章 光电子能谱分析; 概述——表面分析技术 光电子能谱分析的基本原理 光电子能谱仪 光电子能谱测定技术 光电子能谱分析的应用; 表面 表面分析技术 表面分析得到的信息;表面： 固体最外层的1~10个原子（＜10nm）的表面层； 吸附在表面上的原子、分子、离子等其他覆盖层。;表面分析的意义;表面分析技术 (Surface Analysis) 是对材料外层(the Outer-Most Layers of Materials (10nm)研究的技术。;X射线光电子能谱分析（X-ray photoelectron spectroscopy, XPS） 俄歇电子能谱分析 (auger electron spectroscopy, AES) 紫外光电子能谱分析(ultraviolet photoelectron spectroscopy, UPS) 二次离子质谱分析(secondary ion mass spectrometry, SIMS) 激光微探针质谱分析(laser microprobe mass spectrometry, LMMS) 电子探针分析(electron microprobe, EM ) ;物质表面层的化学成分（除氢元素以外） 物质表面层元素所处的状态 表面层物质的状态 物质表面层的物理性质 ;光电效应 光电子能谱分析基本原理 化学位