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材料研究方法--电子探针;4. 电子探针x射线显微分析;4.1 工作原理;工作原理;4.2 构造;;X-ray 谱仪;（1）波长分散谱仪 WDS Wavelength Dispersive Spectrometer;工作原理;分光晶体;弯曲分光晶体两种聚焦方式;两种聚焦方式;波长色散谱;WDS 特点：;（2）能量色散谱仪 EDS Energy Dispersive Spectrometer;工作原理;;NaCl的扫描形貌像及其能量色散谱;EDS 特点：;WDS 与EDS比较;;;波谱仪的晶体分光特点，对波长为?的X射线不仅可以在探测到n＝1的一级X射线，同时可在其它?角处探测到n为不同值的高级衍射线。 波谱定性分析不如能谱定性分析那么简单、直观，就要求对波谱进行更合乎逻辑的分析，以免造成错误。;例：;比较项目;4.3 样品制备;4.4 分析方法;基本工作方式：;微区成分分析;;（2）线扫描分析;线扫描分析;线扫描分析;（3）面扫描分析;面扫描分析;注意：;;4.5 应用;应用举例;其它电子显微镜;扫描隧道显微镜 (STM);Atomic Resolution on Si(111);原子力显微镜 (AFM);a. Writing on Ferroelectric Materials b. Atomic resolution on carbon