高灵敏度阵列气敏传感器的制备与气敏特性分析.pptVIP

“挑战杯”西安邮电大学;通过以下图片我们能得出什么？;这样生活真累;3、煤矿安全 ; 图一 消防队员处理泄露事故 图二 硫化氢有毒气体泄露;本项目使用纳米材料薄膜，比表面积大，表面能高，具有传统材料所不具备的物理化学特性。比普通薄膜有更快的响应速度，具有高灵敏度。;目录;1、气敏传感器的简介;气敏传感器的基本原理：; ;2、本项目的研究意义以及研究目标;半导体气敏传感器阵列;（1）氧化;（2）匀胶;（3）光刻;（4）刻蚀和除胶;（5）掺杂;叉指电极;（6）划片及印??制备的薄膜;涂膜前;纳米氧化锌的生长;二氧化钛;4、数据分析及总结;ZnO气敏传感器V-G特性;工作总结 根据半导体工艺以及相关技术，结合先进的测试方法和理论分析，建立智能化识别模式使之适应复杂环境中气体的检测，实现高精度、低功耗和集成化气体传感器阵列结构和不同选择性的气敏薄膜的制备。;提出项目创新点 1、提出高灵敏度传感器阵列设计与制备，以实现复杂成分气体的检测。 2、利用半导体工艺等技术，在本征硅片上阵列结构电极和纳米气敏薄膜，有效提高气体测量的准确性、响应速度和灵敏度。 3、建立智能化的识别模式使之适应复杂环境中混合气体种类和含量测量。 ;后期目标 本项目初步得出阵列化的气敏传感器,能够对混合气体有良好的选择性。但是还存在一些不足，为了能够更有效更方便更