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發明名稱: 垂直式彈性探針及附壓力感測器之晶圓級垂直式針測卡 (專利發明第 I 231371號);大綱;1. 簡介; 2.技術回顧 (1); 2.技術回顧 (2); 傳統針測卡實際操作時有幾個缺點: (1) 針尖隨懸臂彎曲產生縱向變形外， 也會發生橫向位移 而造成接觸不穩定。 (2) 有橫向位移，無法測試小尺寸鋁墊或金/錫凸塊。(3) 針尖容易黏附雜物， 不易清潔，容易造成功能喪失。(4) 測試過的鋁墊， 有刮痕後續打線或長凸塊會有問題。 (5) 懸臂長度達400~600um，佔據空間大，無法測試高密度 鋁墊， 也不適於2 排或3 排鋁墊之晶片。 ;3.本發明之結構 (1)：側視圖;3.本發明之結構 (2)：立體圖;3.本發明之結構 (3)：分解圖; 3.本發明之結構 (4)：探針與壓力感測器整合圖;3.本發明之結構 (5):壓力感測器示意圖;3.本發明之結構 (6):探針分布在晶粒外圍;3.本發明之結構 (7):探針為陣列式;3.本發明之結構 (8):探針為直線式分佈;3.本發明之結構 (9):針測卡探針及壓力感測器分佈圖;4.本發明之特點;5.模擬分析(1):探針的變形量與應力;5.模擬分析(2):探針結構;5.模擬分析(3):探針各部材料之物性;5.模擬分析(4):模擬條件;5.模擬分析(5):針軸方向變形量與應