《材料分析测试技术》第5章 电子显微分析-透射.pptVIP

电子光学系统结构 d.成像系统 ★一般由物镜、中间镜和投影镜组成。 e.物镜 ★用来形成第一幅高分辨率电子显微图或电子衍射花样，TEM分辨本领的高低主要取决于物镜； f.中间镜 ★利用中间镜的可变倍率来控制总的放大倍数； g.投影镜 ★将中间镜放大（或缩小）的像进一步放大并投影到荧光屏上； 物镜： 强， Mo=200 X 成象系统 三级透镜 中间镜：弱，Mi＝0-20 X 投影镜：强，Mp＝100 X M＝Mo?Mi?Mp， 对一般电镜：M＝10-20 万倍 对有2个中间镜和2个投影镜，M＝50-80 万倍 d.成像系统 目前高性能的TEM大都采用5级透镜放大，即中间镜和投影镜有两级，分第一中间镜和第二中间镜、第一投影镜和第二投影镜。 电子光学系统结构 h.观察记录系统 ★用来观察和拍摄经成像和放大的电子像； i.样品室 ★用来承载样品，一般是铜网，可使样品倾斜和旋转； 记录系统： 荧光屏、