【国家级课程】-南京农业大学-《薄膜材料技术与物理》-第一章.pptVIP

半导体薄膜技术与物理;薄膜材料科学与技术作用;主要参考书目;第一章 真空技术;1.1.1 真空的定义;1.1.2 真空表示;1.1.3 真空度单位;1.1.4 区域划分;1.2 真空的获得;真空泵的种类及工作原理;旋片式机械泵 结构(剖面)图;机械泵的抽气速率 理论抽速：S=2ωV（升/秒） 转速ω =1000转/分，V=1/4升，S=500升/分=8升/秒 实际抽速： 考虑到有害空间，实际比理论小，有一系数v;油扩散泵结构及工作原理;工作原理： 依靠从喷嘴喷出的高速（200米/秒）高密度的蒸汽流而输送气体 以油为工作蒸汽的称为油扩散泵 必须与机械泵配合使用 Pf：前级真空压强 n：蒸汽分子密度 U：油蒸汽速度 L：出气口至进气口的蒸汽扩散长度 D0：=常数;马达电源;3、分子泵 ;工作原理： 处于气体中的固体表面以一定方向运动，所有飞到这 表面的气体分子，经过碰撞后都具有一定的分速度，其 大小与方向等于固体的速度。 Turbo-Molecular泵：通过高速旋转的涡轮叶片，不断 地对气体分子施以定向的动量和压缩作用。 需要前置真空泵（10-3Torr） 4、溅射离子泵 5、吸附泵 6、升华泵 ;1.3 真空测量;皮拉尼真空计;单位时间内气体分子从加热灯丝表面传递到热真空计玻璃管的热量;2、电离真空计;热阴极电离真空计;假设：阴极与离子收集极的间距为d 电子的平均自由程为le 电子每与气体分子碰撞一次就能产生一次电离 ;Ie为常数时 Ii = IeKP = CP 离子流仅与压强成正比 测出离子流，经放大后可用转换为压强刻度的表头指示 测量范围：10-1～10-6Pa P10-1Pa，饱和 P10-6Pa，高速电子→X射→ IX → Ii↑ B-A型：改变离子收集极，板状柱，X射↓ → IX↓ → P～10-10Pa;名 称;1.4 真空度对薄膜工艺的影响