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- 2021-06-25 发布于河北
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第二章 TFT 显示器的制造工艺流程和工艺环境要求
第一节 阵列段流程
一、主要工艺流程和工艺制程
（一）工艺流程
（二）工艺制程
1、成膜： PVD 、CVD
2、光刻：涂胶、图形曝光、显影
3、刻蚀：湿刻、干刻
4 、脱膜
二、辅助工艺制程
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