集成电路工艺第一章硅集成电路衬底加工技术 .pptxVIP

集成电路制造技术;?早在1830年，科学家已于实验室展开对半导体的研究。 ? 1874年，电报机、电话和无线电相继发明等早期电子仪器亦造就了一项新兴的工业──电子业的诞生。?;基本器件的两个发展阶段;什么是微电子工艺;微电子工业生产过程图;npn-Si双极型晶体管芯片工艺流程----硅外延平面工艺举例;2 微电子工艺发展历程;9、要学生做的事，教职员躬亲共做；要学生学的知识，教职员躬亲共学；要学生守的规则，教职员躬亲共守。6月-216月-21Tuesday, June 15, 2021 10、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话。04:21:2704:21:2704:216/15/2021 4:21:27 AM 11、一个好的教师，是一个懂得心理学和教育学的人。6月-2104:21:2704:21Jun-2115-Jun-21 12、要记住，你不仅是教课的教师，也是学生的教育者，生活的导师和道德的引路人。04:21:2704:21:2704:21Tuesday, June 15, 2021 13、He who seize the right moment, is the right man.谁把握机遇，谁就心想事成。6月-216月-2104:21:2704:21:27June 15, 2021 14、谁要是自己还没有发展培养和教育好，他就不能发展培养和教育别人。15 六月 20214:21:27 上午04:21:276月-21 15、一年之计，莫如树谷；十年之计，莫如树木；终身之计，莫如树人。六月 214:21 上午6月-2104:21June 15, 2021 16、提出一个问题往往比解决一个更重要。因为解决问题也许仅是一个数学上或实验上的技能而已，而提出新的问题，却需要有创造性的想像力，而且标志着科学的真正进步。2021/6/15 4:21:2704:21:2715 June 2021 17、儿童是中心，教育的措施便围绕他们而组织起来。4:21:27 上午4:21 上午04:21:276月-21 1、Genius only means hard-working all ones life. (Mendeleyer, Russian Chemist)? 天才只意味着终身不懈的努力。21.5.265.26.202108:3008:30:57May-2108:30 2、Our destiny offers not only the cup of despair, but the chalice of opportunity. (Richard Nixon, American President )命运给予我们的不是失望之酒，而是机会之杯。二〇二一年五月二十六日2021年5月26日星期三 3、Patience is bitter, but its fruit is sweet. (Jean Jacques Rousseau , French thinker)忍耐是痛苦的，但它的果实是甜蜜的。08:305.26.202108:305.26.202108:3008:30:575.26.202108:305.26.2021 4、All that you do, do with your might; things done by halves are never done right. ----R.H. Stoddard, American poet做一切事都应尽力而为，半途而废永远不行5.26.20215.26.202108:3008:3008:30:5708:30:57 5、You have to believe in yourself. Thats the secret of success. ----Charles Chaplin人必须相信自己，这是成功的秘诀。-Wednesday, May 26, 2021May 21Wednesday, May 26, 20215/26/2021 ? ;The First Transistor from Bell Labs;1958年在美国的德州仪器公司和仙童公司各自研制出了集成电路，采用的工艺方法是硅平面工艺。;Jack Kilby’s First Integrated Circuit;仙童（Fairchild）半导体公司;60年代的出现了外延技术，如：n-Si/n+-Si，n-Si/p-Si。一般双极电路或晶体管制作在外延层上。 70年代的离子注入技术，实现了浅结掺杂。IC的集成度提高得以实现。 新工艺，新技术，不断出现。（等离子技术的应用，电子束光刻，分子束外延，等等）;张忠谋：台湾半导体教父 ;戈登-摩尔提出摩尔定律;DROM集成度与工艺的进展;2002年1月：英特尔奔腾4处