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第五章 半导体表面 5.1 半导体表面和表面能级 5.2 Si-SiO 系统中的表面态与表面处理 2 5.3 表面能带弯曲与反型 5.4 表面复合 School of Microelectronics 5.1 半导体表面和表面能级 基本定义： • 达姆指出晶体自由表面的存在使晶体的周期性势场在表面 中断，从而引起附加能级，这种能级称为达姆表面能级。 • 在晶体表面不附着氧化层或其它任何分子的所谓理想表面 情况下，对晶体表面求解薛定谔方程，结果表明电子被局 限在表面附近，这种电子状态称作表面态，对应的能级称 为表面能级，每个表面原子对应禁带中一个表面能级。 School of Microelectronics 表面态的性质： • 从晶体结构看，由于晶格在表面终止，表面上的每个硅原 子都有一个称为悬挂键的未饱和键，对应的电子状态就是 表面态，如图5.1和图5.2所示。