半导体物理西交课件-半导体表面和MSI结构.pdfVIP

第八章半导体表面与MIS结构 言： 一些重要的半导体器件，如MOSFET，CCD等都 是利用半导体表面效应制成的。半导体表面状 态对于器件的性能和工作稳定性具有决定性的 影响。随着器件尺寸的不断变小，这种影响将 更加突出。 本章内容 表面态 表面电场效应 MIS结构的电容电压特性 硅-二氧化硅系统的性质 表面电导及迁移率 表面态 理想表面 表面层中原子排列对称性与体内原子完全相同，且 面不附着任何原子和分子的无限晶体表面 表面态 V(x) V ; x 0 0 V(x a) V(x);x 0 2 2 h d y Vy Ey (x 0) （8-1 ） 2m dx2 0 0 2 2 h d y V(x )y Ey (x 0;V(x a) V( x).) （8-2 ）