第3、4章微电子集成电路.pptxVIP

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集成电路基础工艺与制造工艺;集成电路设计与制造的主要流程框架;集成电路的设计过程: 设计创意 + 仿真验证;;集成电路芯片的显微照片;集成电路的内部单元(俯视图);N沟道MOS晶体管;CMOS集成电路(互补型MOS集成电路):目前应用最为广泛的一种集成电路,约占集成电路总数的95%以上。;;第3章 集成电路工艺简介;图形转换:光刻;正胶:曝光后可溶 负胶:曝光后不可溶;第4章 CMOS集成电路加工过程简介 一、硅片制备 二、前部工序 ;掩膜1: P阱光刻 具体步骤如下: 1.生长二氧化???: ;2.P阱光刻: 涂胶、掩膜对准、曝光、显影、刻蚀 3.去胶 4.掺杂:掺入B元素 ;掩膜2 : 光刻有源区 淀积氮化硅 光刻有源区 场区氧化 去除有源区氮化硅及二氧化硅 生长栅氧 淀积多晶硅 ;;掩膜3 :光刻多晶硅 掩膜4 :P+区光刻 1、P+区光刻 2、离子注入B+,栅区有多晶硅做掩蔽,称为硅栅自对准工艺。 3、去胶; 掩膜5 : N+区光刻 1、N+区光刻 2、离子注入P+ 3、去胶; 掩膜6 :光刻接触孔 ;掩膜7 :光刻铝引线 1、淀积铝 2、光刻铝 ;掩膜8 :刻钝化孔 中测打点;三、后部封装 (在另外厂房) (1)背面减薄 (2)切片 (3)粘片 (4)压焊:金丝球焊 (5)切筋 (6)整形 (7)所封 (8)沾锡:保证管脚的电学接触 (9)老化 (10)成测 (11)打印、包装;

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