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集成电路基础工艺与制造工艺;集成电路设计与制造的主要流程框架;集成电路的设计过程:
设计创意
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仿真验证;;集成电路芯片的显微照片;集成电路的内部单元(俯视图);N沟道MOS晶体管;CMOS集成电路(互补型MOS集成电路):目前应用最为广泛的一种集成电路,约占集成电路总数的95%以上。;;第3章 集成电路工艺简介;图形转换:光刻;正胶:曝光后可溶
负胶:曝光后不可溶;第4章 CMOS集成电路加工过程简介
一、硅片制备
二、前部工序
;掩膜1: P阱光刻
具体步骤如下:
1.生长二氧化???:
;2.P阱光刻:
涂胶、掩膜对准、曝光、显影、刻蚀
3.去胶
4.掺杂:掺入B元素
;掩膜2 : 光刻有源区
淀积氮化硅
光刻有源区
场区氧化
去除有源区氮化硅及二氧化硅
生长栅氧
淀积多晶硅
;;掩膜3 :光刻多晶硅
掩膜4 :P+区光刻
1、P+区光刻
2、离子注入B+,栅区有多晶硅做掩蔽,称为硅栅自对准工艺。
3、去胶;
掩膜5 : N+区光刻
1、N+区光刻
2、离子注入P+
3、去胶;
掩膜6 :光刻接触孔
;掩膜7 :光刻铝引线
1、淀积铝 2、光刻铝
;掩膜8 :刻钝化孔
中测打点;三、后部封装 (在另外厂房)
(1)背面减薄
(2)切片
(3)粘片
(4)压焊:金丝球焊
(5)切筋
(6)整形
(7)所封
(8)沾锡:保证管脚的电学接触
(9)老化
(10)成测
(11)打印、包装;
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