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太阳能电池工艺培训;目 录;人类社会面临的能源现状;相关的政策;太阳能发电整个产业链;太阳电池的历史; 太阳电池按材料分类;太阳电池结构;单晶与多晶硅片; 太阳电池的工作过程 —光生伏特效应;太阳能电池片生产工艺流程;太阳电池制造过程1-制绒;制绒的原理;单晶硅绒面;多晶硅绒面;太阳电池制造过程2-扩散;扩散装置示意图;扩散原理;太阳电池制造过程3-等离子体刻蚀;首先，母体分子CF4在高能量的电子的碰撞作用 下分解成多种中性基团或离子。 其次，这些活性粒子由于扩???或者在电场作用下 到达SiO2表面，并在表面上发生化学反应。 生产过程中，在中CF4掺入O2，这样有利于提高 Si和SiO2的刻蚀速率。;太阳电池制造过程4-去磷硅玻璃;扩散过程中在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2，称之为磷硅玻璃。;氢氟酸能够溶解二氧化硅是因为氢氟酸能与二氧化硅作用生成易挥发的四氟化硅气体。 若氢氟酸过量，反应生成的四氟化硅会进一步与氢氟酸反应生成可溶性的络和物六氟硅酸。 总反应式为：; PECVD =Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 即“等离子增强化学气相沉积”。它是借助微波使气体（硅烷，氨气）电离，而在硅片上沉积薄膜（氮化硅）的一种方法。;PECVD的作用;PECVD的反应过