集成电路工艺技术讲座.pptxVIP

集成电路工艺技术讲座第十讲;内容;（一）CMOS工艺概述;MOSFET基本方程;线性区和饱和区;MOSFET种类;阈值电压控制;阈值电压控制;场区寄生MOSFET的开启电压;CMOS倒相器基本结构;CMOS结构中的阱;CMOS结构中的阱;LOCOS技术;LOCOS技术;LOCOS 鸟嘴;CMOS 工艺要求更高清洁度;（二）2um P阱硅栅　　CMOS IC工艺流程;2um P阱 CMOS SPEC;CMOS IC工艺流程(1);CMOS IC工艺流程(2) ;CMOS IC工艺流程(3) ;CMOS IC工艺流程(4) ;CMOS IC工艺流程(5) ;CMOS IC工艺流程(6) ;CMOS IC工艺流程(7) ;CMOS IC工艺流程(8) ;CMOS IC工艺流程(9) ;CMOS IC工艺流程(10) ;（三）先进CMOS IC工艺;先进CMOS IC工艺;沟槽隔离技术(1);沟槽隔离技术(2);热电子效应和漏极工程(1);热电子效应和漏极工程(2);热电子效应和漏极工程(3)(DDD);热电子效应和漏极工程(4)(LDD);LDD工艺流程 (1);LDD工艺流程 (2);LDD工艺流程 (3);MOSFET模拟－杂质分布;短沟道效应和沟道区掺杂;栅极技术;源漏浅结技术和硅化物 (1);源漏浅结技术和硅化物 (2);源漏浅结技术和硅化物 (3);Latch up效应;避免Latch up效应的对策;高能注入形成逆向阱;（四）BiCMOS工艺技术;BiCMOS 逻辑门;BiCMOS工艺技术;BiCMOS工艺技术;利用 N阱作集电极的简单BiCMOS;用CMOS双阱工艺的 BiCMOS;BiCMOS工艺技术;BiCMOS;（五）功率MOSFET;功率MOSFET;功率MOSFET的应用;VDMOS原理图;600V/2A VDMOS芯片;600V/4A VDMOS 单元和终端;击穿电压和导通电阻;外延层的选择;LDMOS;LDMOS 电位分布;（六）BCD(Bipolar CMOS DMOS);MOS功率集成电路;BCD;;9、春去春又回，新桃换旧符。在那桃花盛开的地方，在这醉人芬芳的季节，愿你生活像春天一样阳光，心情像桃花一样美丽，日子像桃子一样甜蜜。12月-2012月-20Wednesday, December 2, 2020 10、人的志向通常和他们的能力成正比例。01:29:0501:29:0501:2912/2/2020 1:29:05 AM 11、夫学须志也，才须学也，非学无以广才，非志无以成学。12月-2001:29:0501:29Dec-2002-Dec-20 12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。01:29:0501:29:0501:29Wednesday, December 2, 2020 13、志不立，天下无可成之事。12月-2012月-2001:29:0501:29:05December 2, 2020 14、Thank you very much for taking me with you on that splendid outing to London. It was the first time that I had seen the Tower or any of the other famous sights. If Id gone alone, I couldnt have seen nearly as much, because I wouldnt have known my way about. 。02 十二月 20201:29:05 上午01:29:0512月-20 15、会当凌绝顶，一览众山小。十二月 201:29 上午12月-2001:29December 2, 2020 16、如果一个人不知道他要驶向哪头，那么任何风都不是顺风。2020/12/2 1:29:0501:29:0502 December 2020 17、一个人如果不到最高峰，他就没有片刻的安宁，他也就不会感到生命的恬静和光荣。1:29:05 上午1:29 上午01:29:0512月-20