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东区电池效率提升经验分享;电池转换效率大幅提升;试验模型： ;因子选择与控制： 可控因子选择 气流：N2,POCL3,O2中选择POCL3作为key factor，以控制磷的掺杂总量和均匀性； 温度：温度影响磷的掺杂总量，浓度分布，作为key factor； 时间：淀积时间，推进时间影响磷的掺杂总量，浓度分布，作为key factor ； 压强：由于压强的波动相对于其绝对值非常小，对制程影响将较小； 噪声因子控制 片源：通过等份混片，保证片源一致； 时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的??留时间； 机台：保证路径一样； ;第一组试验： 对以上可控因子进行田口设计，生成L9试验方案,找出最佳方案---E3： 第二组试验： 根据第一组试验结果，进行第二组试验确定时间，试验方案为全因子设计，找出最佳方案---E6 ;因子选择与控制： 可控因子选择： 气流：流量比例影响薄膜成分组成； 压强：影响膜的均匀性； 膜厚：影响减反射效果； 烧结温度：影响氢分布和钝化效果； 噪声因子控制： 片源：通过等份混片，保证片源一致； 时效：技术员全程跟踪，尽量减少硅片的滞留时间； 机台：保证路径一样； ;第一组试验： 对以上可控因子进行田口设计，生成L9试验方案,找出最佳方案Recipe7： 第二组试验： 根据第一组试验结果，进行第二组试验，添加后到烧结因素，找出最佳方案---recipe 7 ;Case3 丝网烧结DOE实验-因子选择;Case3 丝网烧结DOE实验-L9试验;Case4 前后清洗DOE-因子选择;Case4 前后清洗DOE-混酸设计;Case4 前后清洗DOE-试验结果;相关性趋势图－下一步提效方向;PERS流程;SPC管控;工序标准化;心得体会;9、春去春又回，新桃换旧符。在那桃花盛开的地方，在这醉人芬芳的季节，愿你生活像春天一样阳光，心情像桃花一样美丽，日子像桃子一样甜蜜。7月-217月-21Thursday, July 15, 2021 10、人的志向通常和他们的能力成正比例。20:19:5520:19:5520:197/15/2021 8:19:55 PM 11、夫学须志也，才须学也，非学无以广才，非志无以成学。7月-2120:19:5520:19Jul-2115-Jul-21 12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。20:19:5520:19:5520:19Thursday, July 15, 2021 13、志不立，天下无可成之事。7月-217月-2120:19:5520:19:55July 15, 2021 14、Thank you very much for taking me with you on that splendid outing to London. It was the first time that I had seen the Tower or any of the other famous sights. If Id gone alone, I couldnt have seen nearly as much, because I wouldnt have known my way about. 。15 七月 20218:19:55 下午20:19:557月-21 15、会当凌绝顶，一览众山小。七月 218:19 下午7月-2120:19July 15, 2021 16、如果一个人不知道他要驶向哪头，那么任何风都不是顺风。2021/7/15 20:19:5520:19:5515 July 2021 17、一个人如果不到最高峰，他就没有片刻的安宁，他也就不会感到生命的恬静和光荣。8:19:55 下午8:19 下午20:19:557月-21