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第四章 离子注入工艺 离子注入的特点是加工温度低,易做浅结,大面积注入杂质仍能保证均匀,掺杂种类广泛,并且易于自动化。由于采用了离子注入技术,大大地推动了半导体器件和集成电路工业的发展,从而使集成电路的生产进入了大规模及ULSI时代。一.离子注入工艺设备结构离子注入机原理图二、离子注入工艺的特点 (1)注入的离子是通过质量分析器选取出来的,被选取的离子纯度高,能量单一,从而保证了掺杂纯度不受杂质源纯度的影响。另外,注入过程是在清洁、干燥的真空条件下进行的,各种污染降到最低水平。 (2)可以精确控制注入到硅中的掺杂原子数目。 (3)衬底温度低,一般保持在室温,因此,像二氧化硅、氮化硅、铝何光刻胶等都可以用来作为选择掺杂的掩蔽膜。 (4)离子注入深度是随离子能量的增加而增加,因此掺杂深度可以通过控制离子束能量高低来实现。另外,在注入过程中可精确控制电荷量,从而可精确控制掺杂浓度。- (5)离子注入是一个非平衡过程,不受杂质在衬底材料中的固溶度限制,原则上对各种元素均可掺杂。 (6)离子注入时的衬底温度低,这样就可以避免了高温扩散所引起的热缺陷。 (7)由于注入的直进性,注入杂质是按掩膜的图形近于垂直入射,因此横向效应比热扩散小的多,有利于器件特征尺寸的缩小。 (8)离子往往是通过硅表面上的薄膜注入到硅中,因此硅表面上的薄膜起到了保护膜作用 (9)化合物半导体是两种或多种元素按 一定组分构成的,这种材料经高温处理时,组分可能发生变化。采用离子注入技术,基本不存在上述问题,因此容易实现对化合物半导体的掺杂9、要学生做的事,教职员躬亲共做;要学生学的知识,教职员躬亲共学;要学生守的规则,教职员躬亲共守。10、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话。11、一个好的教师,是一个懂得心理学和教育学的人。12、要记住,你不仅是教课的教师,也是学生的教育者,生活的导师和道德的引路人。13、He who seize the right moment, is the right man.谁把握机遇,谁就心想事成。14、谁要是自己还没有发展培养和教育好,他就不能发展培养和教育别人。15、一年之计,莫如树谷;十年之计,莫如树木;终身之计,莫如树人。16、提出一个问题往往比解决一个更重要。因为解决问题也许仅是一个数学上或实验上的技能而已,而提出新的问题,却需要有创造性的想像力,而且标志着科学的真正进步。17、儿童是中心,教育的措施便围绕他们而组织起来。2、Our destiny offers not only the cup of despair, but the chalice of opportunity. (Richard Nixon, American President )命运给予我们的不是失望之酒,而是机会之杯。二〇二一年六月十七日2021年6月17日星期四3、Patience is bitter, but its fruit is sweet. (Jean Jacques Rousseau , French thinker)忍耐是痛苦的,但它的果实是甜蜜的。10:516.17.202110:516.17.202110:5110:51:196.17.202110:516.17.20214、All that you do, do with your might; things done by halves are never done right.----R.H. Stoddard, American poet做一切事都应尽力而为,半途而废永远不行6.17.20216.17.202110:5110:5110:51:1910:51:195、You have to believe in yourself. Thats the secret of success. ----Charles Chaplin人必须相信自己,这是成功的秘诀。-Thursday, June 17, 2021June 21Thursday, June 17, 20216/17/2021?基个概念: (1)靶:被掺杂的材料。 (2)一束离子轰击靶时,其中一部分离子在靶面就被反射,不能进入靶内,称这部分离子为散射离子,进入靶内的离子成为注入离子。 (3)非晶靶成为无定形靶,本章所涉及道德靶材料,都是按无定形来考虑。三、离子注入原理 “离子” 是一种经离化的原子和分子,也称“等离子体”,它带有一定量的电荷。“等离子发生器”已广泛应用到CVD、金属镀膜、干法刻蚀、光刻胶的去除等工艺中,而在离子注入的设备中,它被用来制造工艺所要注入的离子。因为离子带电荷,可以用加速场进行加速,并且借助于磁场来改变离子的运动方向。当经加速后的离子碰撞一个固体靶面之后,离子与靶面的原子将经历各种不同的交互作用
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