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    PAGE PAGE 1 电子级磷酸盐 简介 电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗（面板级），纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗和浊刻（称为IC级）。电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料，另外还可用作超高纯试剂和光纤玻璃原料等。 产业链 磷矿石 磷矿石 焦炭 硅石 黄磷 高纯磷酸 食品级磷酸 电子级磷酸 食品添加剂 电子行业 上游 中游 下游 制作工艺 电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化

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