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1316 ZX-L-N 84 Smart Monitor V3 455 15mm 200561 33mm 34mm 15mm 39mm 19mm 15mm 0.15ms 0.3ms 15mm 84 17mm 2 4,096 30mm 28500mm 50μm(40mm) φ50μm 2 75μm 31mm 2mm (300µm) 300±200mm 3 (16µm) 100±40mm (2µm) 40±10mm 64mm 2 64 φ 1mm5mm10mm (4μm) 2 ZS-HL/ 45mm ZS-L φ1mm 5mm φ1mm φ12.5mm 5mm ZX-L-N (0.25μm) 55mm 1 0500mm 5002000mm 0500mm ZX-E 30±2mm ZX-T 75μm

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