第十一章电子探针显微分析.pptVIP

锂漂移硅Si(Li)探测器 Si(Li)探测器处于真空系统内，其前方有一个7-8 ?m的铍窗，整个探头装在与存有液氮的杜瓦瓶相连的冷指内。 漂移进去的Li原子在室温很容易扩散，因此探头必须一直保持在液氟温度下。 Be窗口使探头密封在低温真空环境之中，它还可以阻挡背散射电子以免探头受到损伤。 低温环境还可降低前置放大器的噪声，有利于提高探测器的峰-背底比． 能谱仪的结构 能谱仪的工作原理 由试样出射的具有各种能量的X光子相继经Be窗射入Si(Li)内，在I区产生电子-空穴对。每产生一对电子-空穴对，要消耗掉X光子3.8 eV的能量。因此每一个能量为E的入射光子产生的电子-空穴对数目N＝。 加在Si(Li)上的偏压将电子-空穴对收集起来，每入射一个X光子，探测器输出—个微小的电荷脉冲，其高度正比于入射的X光子能量E。 能谱仪的工作原理 电荷脉冲经前置放大器，信号处理单元和模数转换器处理后以时钟脉冲形式进入多道分析器。 多道分析器有一个由许多存储单元（称为通道）组成的存储器。与X光子能量成正比的时钟脉冲数按大小分别进入不同存储单元。 每进入一个时钟脉冲数，存储单元记一个光子数，因此通道地址和X光子能量成正比，而通道的计数为X光子数。 最终得到以通道（能量）为横坐标、通道计数（强度）为纵坐标的X射线能量色散谱，并显示于显像管荧光屏上。下图为NaCl的扫描形貌像及其能量色散谱。