设备配置明细表.docx

设备配置明细表 序号 产品名称 规格型号 品牌 单位 数量 备注 1 真空镀膜室 内尺寸700*700 驰诚真空 台 1 腔体采用高品质304不锈钢 2 分子泵 FF-250 中科科仪 台 1 ≧2500L/S 3 罗茨泵 ZJP-150 华新南光 台 1 ≧150L/S 4 粗抽泵（直连泵） BSV-90 宁波鲍斯 台 1 ≧90m3/H 无油无烟无噪音 5 维持泵（直连泵） BSV-30 宁波鲍斯 台 1 ≧90m3/H 无油无烟无噪音 6 电柜控制系统 标准配置 驰诚真空 套 1 施耐德欧姆龙 7 直流磁控溅射电源 XDDC-20KW 深圳新达 台 1 采用全新PWM脉冲调宽技术 8 内衬板 配套设备尺寸 驰诚真空 套 2 采用1mm304不绣钢板便于更换 9 真空测量仪 ZDF-5227 成都睿宝 套 1 数显复合型 10 PLC系统 FX3U-64MR 日本三菱 套 1 PLC控制，驰诚编程 可实现参数的存取调取 11 人机交互系统 12英寸 台湾威纶 套 1 全自动化的操作方式 12 纯钛靶材 配套设备尺寸 驰诚真空 只 1 采用高纯度金属材料 13 纯铝靶材 配套设备尺寸 驰诚真空 只 1 采用高纯度金属材料 14 纯铬靶材 配套设备尺寸 驰诚真空 只 1 采用高纯度金属材料 二、设备详细参数 序号 产品名称 详细参数 1 真空镀膜机腔体 腔内径：ф700*H700；高品质304不锈钢材质外加强筋加固；腔体底座使用方钢制作；腔体抽气口与真空抽气泵配套且安装过滤窗，内侧衬板方便拆卸与更换；腔体门上设计观察窗并配遮挡板。 2 真空镀膜机抽气系统 FF-250/2500涡轮分子泵1台，品牌：北京中科科仪抽气速度≥2500L/S；罗茨泵1台品牌：四川华新南光，抽气速度≧150L/S；粗抽泵1台(直连泵)，品牌：宁波鲍斯，抽气速度≧90m3/H；维持泵（直连泵）：1台，品牌：宁波鲍斯 抽气速度：≧30m3/H；不锈钢真空管道1套，连接处不锈钢波纹管；每台抽气泵备真空阀门，阀门为气动挡板阀，电控控制，铝合金气缸。 3 工件旋转系统 配1套工件转架，工件转架采用公转与自转方式，自转轴4轴；配1套变频机可无极调整；工件旋转电机可正向、反向旋转。 4 冷却系统 进出水管使用2种颜色区分进水与出水并表示水流向；布线规范整齐、安全。 5 磁控溅射靶系统 采用此驰诚最新发明（拥有此项发明专利）即溅射速率和均匀性的提升技术采用圆柱中心柱状靶一只， 合理设计与基材的距离，搭配直流溅射电源，可进行多种靶材的溅射。 6 电气控制系统 标准电控柜1个，主要电气元件使用施耐德品牌；全自动控制系统12寸彩色触摸屏，日本三菱PLC；采用过流、过载、过热保护同时配缺水、缺气报警等保护功能；实现真空阀门自锁、互锁等安全保护；PLC可记录设备的详细工作过程和故障报警功能可实习镀膜工艺存储并调用。 7 主要技术参数 极限真空：优于5.0X10-4pa （净炉空载） 静态漏率：0.67pa/h（净炉空载） 抽速：空载大气抽到5*10-24mins（净炉空载） 工作真空：浮动2*10-2Pa 更加稳定的真空度和均匀的溅射速率，会使膜层表面导电性更加均匀。 8 备件要求 设备使用说明书：1份；主要配件说明书：1份；电气图：1份；大门密封圈：2件；设备易损阀门密封件：2套；设备易损加工绝缘件：2套；电阻规、电离规各2个；观察窗玻璃片：2件；镀膜机常用工具：1套。