平面度与光波带的条数关系.docVIP

平面度与光波带的关系 时间：2021.02.09 创作人：欧阳历 引用一木书上的内容:1）根据干涉条纹讣算平面度误差测虽时若出现向一个方向弯曲的干涉条纹，如图所示.调整平晶位毘 使之 涉带间距但是如何精确确定V和（!）的值,我也很迷惑!2）根据光圈il?算平面度误差若被测平面凹或凸?则会出现环形T?涉带，调整 田2 田2 向上的光圈数示总图如下 平晶具有两个（或一个）光学測量平面的正圆柱形或长方形的量规。光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度课差 量高光洁表面的平面度课差，图la为用平面平晶检验量块测量面的平面度谋差°平行平晶的两个光学测量平面是扌 玻璃制造。圆柱形平面平晶的直怪通常为45?150毫米。其光学測量平面的平面度课差为:1级精度的为0.03?0.05 : 平晶?正文 具有两个（或一个）光学测量平面的正圆柱形或长方 形的量规。光学测量平而是表面粗糙度数值和平而度误差 都极小的玻璃平面，它能够产生光波干涉条纹（见激光测 长技术）。平晶有平面平晶和平行平晶两种。平面平晶用 于测量高光洁表面的平面度误差，图la为用平而平晶检验 量块测量面的平面度误差。平行平晶的两个光学测量平而 是相互平行的，用于测量两高光洁表面的平行度误差，例如千分尺两测量面的平行度误差（图lb）-平晶用光学玻 璃或石英玻璃制造。圆柱形平而平晶的直径通常为45? 150毫米。其光学测量平面的平面度误差为：1级精度的为 0.03?0.05微米；2级精度的为0.1微米。常见的长方形 平面平晶的有效长度一般为200毫米。 ?K农 平晶 平晶是利用光波干涉现彖测量平面度误差的，故其测量 方法称为平晶干涉法（图2），也称技术光波干涉法。测量 时，把平晶放在被测表面上，且与被测表面形成一个很小的 楔角0,以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位 置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面，且 平晶与被测表面间的间隙很小，则由平晶测量面P反射的光 线与被测表面反射的光线在测量而P发生干涉而出现明或 喑的干涉条纹。若在白光下，则岀现彩色干涉条纹。如干 涉条纹平直，相互平行，且分布均匀，则表示被测表面的平 面度很好；如干涉条纹弯曲，则表示平面度不好。其误差 值为 c + v,式中刀为两干涉条纹间距离，方为干涉条纹的 弯曲值，入为光波波长，白光波长一般以0.6微米计算。 光波带图 时间：2021.02.09 创作人：欧阳历