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光刻机工件台与掩模台同步控制研究（谷林） 同步控制卡是步进扫描光刻机控制系统的核心控制板卡之一，高性能同步控制卡是实现高速运算处理和高精度同步控制的基础。先规划了以高性能DSP和FPGA为核心器件的同步控制卡总体方案，DSP以TI公司的TMS320C6414为中央处理器，可以实现高速数据运算处理，FPGA采用Altera公司的EP2S60F1020为接口接入芯片，为满足多种接口接入通信，然后进行了各电路模块的详细设计。 同步控制卡的各接口通过FPGA接入，需要设计相应的接口逻辑模块。先规划了接口逻辑的总体框图，以FPGA的双口RAM为缓存，连接各接口逻辑模块和DSP的EMIF接口逻辑模块，然后根据各接口的工作原理进行逻辑模块设计，并进行了实测验证。 同步控制卡硬件设计 引言 工件台与掩模台系统是步进扫描光刻机的重要组成部分。要实现纳米级的定位精度和同步误差精度，高性能的工件台与掩模台的控制系统是不可或缺的。同步控制卡的主要功能是高精度同步误差控制和整个系统的精确时序协调，是控制系统的核心控制板卡之一。本章首先整体分析了步进扫描光刻机控制系统的组成，然后就同步控制卡在控制系统中的作用和功能需求规划了其总体方案，最后对硬件电路进行了详细设计。 步进扫描光刻机控制系统构成 步进扫描光刻机控制系统由上位机、工控机、同步控制卡、运动控制卡、光栅译码卡、激光计数卡、信号采集卡、安全保护卡、调平调焦控制单元、狭缝控制单元、照明控制单元、剂量控制单元、对准控制单元等组成，如图3-1所示。 图3-1 光刻机控制系统构成 上位机通过以太网与工控机连接，其主要功能是指令发送、光刻机运行状态显示和动画仿真。工控机的软件平台是VxWorks实时操作系统，硬件平台是带有21个插槽的VME总线机箱，它通过VME总线与其它板卡连接，其功能是根据接收的上位机指令把相应的参考轨迹解耦成电机方向上的轨迹，并发送到控制卡。运动控制卡实现控制算法，根据系统要求，每块运动控制卡实现对三个电机的控制，整个系统需要11块运动控制卡，它通过光纤接口将控制信号传送到电机驱动。激光计数卡接收自激光干涉仪的信号，完成对工件台微动部分的高精度测量，通过自定义总线传送给同步控制卡，根据工件台与掩模台系统的需求，需要18路激光干涉仪，使用5块激光计数卡。光栅译码卡接受来自光栅尺的信号，实现对工件台宏动部分的位置测量，通过自定义总线传送给同步控制卡。同步控制卡是控制系统的中枢部分，实现对工件台和掩模台的同步控制，统一协调各分系统的运行，比如调平调焦控制单元、对准控制单元等其它分系统（这里指工件台系统以外的部分），同时解耦来自激光干涉仪的信号，还它通过VME总线、自定义总线、光纤接口、RS422等接口与相关部分连接。信号采集卡主要是采集光刻机运行环境的信息，如温度、湿度、压力等，供上位机显示监控。安全保护卡用于光刻机运行故障或异常时发出保护信号，如停机断电等。 同步控制卡硬件总体方案 根据3.2节控制系统的需求和同步控制卡在整个控制系统中的作用规划同步控制卡的硬件总体方案。 从同步控制卡接口需求上看，同步控制卡与工控机、运动控制卡、激光计数卡、光栅译码卡等有连接，还与工件台与掩模台系统以外的调平调焦控制单元、对准控制单元、狭缝控制单元连接，所以接有VME总线接口、自定义总线接口、光纤接口、RS422接口，以及预留的DA接口。 从同步控制卡接口接入上看，如上所述接口众多，VME总线有P1/J1、P2/J2和P0/J0三个接口，P1/J1和P2/J2口各有160个引脚，P0/J0口有95个引脚，2个光纤接口的串并转换芯片有大约80个引脚，3个RS422接口有6个引脚，DA接口需要20多个引脚。如果这些接口直接接入同步控制卡的CPU，将完全无法实现。因此考虑使用接口芯片将这些接口统一接入，然后接口芯片再与CPU连接，来实现与各接口的通信。但是，市场上没有这种可以接入上述不同的接口的专用芯片，因此考虑采用可编程逻辑芯片FPGA。FPGA的功能可以根据需求用硬件描述语言来编程实现，而且其I/O口数量大，可满足大量引脚接入。本设计根据接入需求，选择Altera公司的EP2S60F1020I4N，其相关参数如表3-1所示。 表3-1 EP2S60F1020I4N的参数 参数名 参数值 单位 引脚数 1020 个 I/O脚数 718 个 RAM 318,024 字节 锁相环数 12 个 最高频率 450 MHz 工作电压 3.3 V 从各接口芯片与EP2S60电平兼容性上看，RS422收发芯片是3.3V工作电压，可以直接与EP2S60连接。光纤接口的串并转换芯片是5V工作电压，无法直接与EP2S60连接。其他接口与EP2S60的连接也存在电平兼容性问题，需要采取一定的措施才能将它们连接起来，否则将会出现逻辑