超声电机的发展与应用.docxVIP

PAGE PAGE 超声电机的生长及应用 摘要：回首了超声电机的生长和应用情况，叙述了超声电机的特点，总结了超声电机的分类要领，指出了超声电机技能的生长趋势。针对我国超声电机技能开发和研究现状，提出了我国超声电机财产化进程中亟待解决的一些要害问题。 要害词：超声电机;压电质料;摩擦驱动;精密定位 中图分类号：TM359.9 文献标记码：A Development and Application of Ultrasonic Motors Abstract: The development history and the application of the ultrasonicmotor are reviewed, and its characteristics are also summarized. A method for classifying the ultrasonic motor is proposed. The development trends of the motor is pointed out ,Some key technical problems, which have to be solved in the industrilization progress of the motor, are present according to the research actuality in our country. Key words: ultrasonic motor; piezoeletric materia;friction actuating; precision positioning 引言 自1980年日本学者指田年生乐成地制造出第一台驻波型超声电机至今，种种类型和结构的超声电机不停地被研制，其性能指标也越来越靠近实际工程应用的需要。到上世纪90年代，随着MEMS技能成为国际上的研究热点，超声电机中的微型超声电机也逐渐成为该领域的研究热点。 超声电机(ultrasonic motor,简称USM)是一种全新观点的微特电机。它的事情原理是利用压电质料的逆压电效应,引发弹性体在超声频段内微幅振动,并通过定子与转子之间的摩擦作用将其转换成转子(动子)的旋转(直线)运动。微电子机器系统(MEMS)的一个根本特征是，“尺寸在毫米到微米的范畴内，区别于一般的宏，即传统的、大于1cm标准的机器，但并非进入物理上的微观条理”[1]。MEMS的驱动器作为机器系统的焦点动力源是其研究的重点和突破点。微型超声电机不但结构灵活，并且更能满足MEMS对电机的输着力矩以及输出功率要求，它是新颖的，也是最具生长潜力的微型驱动器。事实证明，微型超声电机在航空航天、半导体产业、医疗器械等领域已经起到了电磁电机、静电电机等不可替代的作用[2]。 就目前的研究现状来说,超声电机是诸类新型电机中技能较为成熟的一种,并且在许多领域已经得到了实际应用。本文将综述超声电机技能的生长历史、特点、分类和应用情况,最后针对我国超声电机的研究现状提出几点亟待解决的要害问题。 超声电机的特点与分类 2.1 超声电机的特点 由于超声电机具有全新的原理和结构,因而它与传统电磁型电机比力具有许多特点。 a)优点: 1)结构紧凑,设计灵活、转矩密度(转矩/质量比)大,可以实现电机的短、小、薄。超声电机的转矩质量比可以到达传统电磁电机的5-10。 2)低速大转矩,无需齿轮减速机构,可实现直接驱动。 3)电机运动部件(转子)的惯性小,响应快(毫秒级)。断电自锁,且具有较大的保持力矩。 4)位置和速度控制精度高,位移辨别率高,响应快。 5)不产生磁场,不受外界磁场滋扰。 6)低噪声运行,噪声在45dB以下(距离电机轴端100mm处丈量)。 7)如果设计公道,压电质料和摩擦质料选用适当,则可在真空、高/低温情况等极度情况下事情。 b)缺点: 1)功率输出小,效率较低。超声电机事情时存在两个能量的转换历程:一是通过逆压电效应将电能转换为定子振动的机器能;二是通过摩擦作用将定子的微幅振动转化为转子(动子)的宏观运动。这两个历程都存在着一定的能量损耗,特别是第二个历程。因此,超声电机的效率较低,输出功率小于50W。 2)寿命较短,不适合于连续运转的场所。 3)对驱动信号的要求严格,且本钱较高明声电机的特点【3】。 2.2 超声电机的分类 超声电机设计灵活、结构多样,目前尚无统一系统的分类要领。按波的流传方法分为行波型、驻波型；按运动输出方法分为旋转型、直线型；按定、转子的打仗方法分为打仗式、非打仗式；按压电元件对定子的激振方法分为共振式、非共振式；按转子运动的自由度数分为单自由度、多自由度；按驱动点的振动位移偏向相对付定子