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半导体变温霍尔效应实验 一：实验目的 了解霍尔效应的产生机制。 掌握霍尔系数的电导率的测量方法、样品导电类型的判别方法、半导体材料的霍尔系数、电导率、载流子浓度和霍尔迁移率的计算方法。 掌握动态法测量霍尔系数的原理。 了解霍尔器件的应用，理解半导体的导电机制。 二：实验仪器 1、实验仪器 HT-648 型变温霍尔效应实验仪 霍尔效应的测量是研究半导体性质的重要实验方法。利用霍尔系数和电导率的联合测量，可以用来确定半导体的导电类型和载流子浓度。通过测量霍尔系数与电导率随温度的变化,可以确定半导体的禁带宽度、杂质电离能及迁移率的温度系数等基本参数。 本仪器采用现代电子技术和计算机数据采集系统，对霍尔样品在弱场条件下进行变温霍尔系数和电导率的测量，来确定半导体材料的各种性质。 2、实验装置 图（二）为测量仪器的结构框图。它由电磁铁、可自动换向稳流源、恒温器、测温控温系统、数据采集及数据处理系统等。 3、主要技术指标 、 电磁铁 0-300mT 可调 励磁电源 0-5A 可调 可自动换向稳定性﹤±0.1% 数字特斯拉计 0-2000mT 三位半数字显示 恒流源输出 1mA 稳定性±0.1% 数据采集系统霍尔电压测量最小分辨率 1uV 温度变化测量范围 80-400K 7.电源 220V50HzAC 200W 三：实验原理 霍尔效应和霍尔系数 霍尔效应是一种电流磁效应（如图一） 当半导体样品通以电流 Is，并加一垂直于电流的磁场 B，则在样 品两侧产生一横向电势差 ????， 这种现象称为“霍尔效应”，????称为 霍尔电压，  ???? = ?????????? ?? ??  (1) ??则 ?? = ?????? ?? ?????? ????叫做霍尔系数，d 为样品厚度。 对于 P 型半导体样品， ???? = I ?? ???? (2) （3） 式中 q 为空穴电荷电量，p 为半导体载流子空穴浓度。 对于 n 型半导体样品， ???? = ? I ?? ????  （4） 式中为 n 电子电荷电量。 考虑到载流子速度的统计分布以及载流子在运动中受到散射等因素的影响。在霍尔系数的表达式中还应引入霍尔因子 A，则（3） （4）修正为 ??p 型半导体样品 ?? = ?? ?? ???? ??n 型半导体样品 ?? = ? ?? ?? ????  （5） （6） A 的大小与散射机理及能带结构有关。在弱磁场（一般为 200mT） 条件下，对球形等能面的非简并半导体，在较高温度（晶格散射起主要作用）情况下，A=1.18，在较低的温度（电离杂质散射起主要作用） 情况下，A=1.93,对于高载流子浓度的简并半导体以及强磁场条件A=1。 对于电子、空穴混合导电的情况，在计算 RH 时应同时考虑两种 载流子在磁场偏转下偏转的效果。对于球形等能面的半导体材料，可 以证明：  ????  ??(???????2) =??(??+????)2 =  （7） 式中b = ???? ???? , Up、Un 分别为电子和空穴的迁移率，A 为霍尔因子， A 的大小与散射机理及能带结构有关。 从霍尔系数的表达式可以看出：由 ????的符号可以判断载流子的型，正为 P 型，负为 N 型。由 ????的大小可确定载流子浓度，还可以结合测得的电导率算出如下的霍尔迁移率 ???? ???? = |????|?? （8） 对于 P 型半导体 ???? = ????，对于 N 型半导体???? = ???? 霍尔系数 ????可以在实验中测量出来，表达式为 ???? = ?????? ?? ?????? （9） 式中 ????、????、d，B 分别为霍尔电势、样品电流、样品厚度和磁感应强度。单位分别为伏特（V）、安培（A），米（m）和特斯拉（T）。但为与文献数据相对应，一般所取单位为 ????伏（V）、Is 毫安（mA）、d 厘 ??的单位为厘米米（cm）、B 高斯（Gs） 、则霍尔系数?? 3 ∕ 库伦（????3 ??的单位为厘米 ??）。 但实际测量时，往往伴随着各种热磁效应所产生的电位叠加在测量值????上，引起测量误差。为了消除热磁效应带来的测量误差，可采用改变流过样品的电流方向及磁场方向予以消除。 霍尔系数与温度的关系 ????与载流子浓度之间有反比关系，当温度不变时，载流子浓度不变， ????不变，而当温度改变时，载流子浓度发生，????也随之变化。 实验可得|????|随温度 T 变化的曲线。 半导体电导率 在半导体中若有两种载流子同时存在，其电导率σ为 σ = qp???? + ???????? （7） 实验中电导率σ可由下式计算出 σ = I?ρ = Il ∕ ???????? （8） 式中为ρ电阻率，I 为流过样品的电流，