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TRACK安装调试培训资料 张先锋 2014.08.06 创新进取 正道经营 追求卓越 创新进取 正道经营 追求卓越 培训内容： 一、CLEANER安装调试 二、SB/HB/DB安装调试 三、DEVELOPER安装调试 创新进取 正道经营 追求卓越 TRACK线平面图： 流片方向 流片方向 流片方向 创新进取 正道经营 追求卓越 所有设备SET UP完成之后，我们开始进入TRACK线，各个单元并不是按照流片的先后顺序来调试的，很多时候是几个单元同时作业，而为了培训的方便，我们还是按照流片的顺序依次讲解各个单元。从整条TRACK线来说，分为INDEXER、CLEANER、DB、LC、SB、INTERFACE、EXP、TITLER、DEVELOPER、HB以及AOI，共11个单元，我们需要调试的是其中的5个单元： CLEANER、DB、 SB、DEVELOPER及HB。 本次调试的设备是B5 TRACK 9号线，名称：SK-2200G，编号：750G25076A  创新进取 正道经营 追求卓越 CLEANER单元包括：入口CV、过渡CV、UV前CV、UV（UV属于其他厂商调试）、RB+AAJET、A/K、NEUTRAL CV以及出口CV。  确认所有供给阀门处于关闭状态； 确认所有控制柜处于OFF状态，开始投入电源（与DNS及客户）； 盖板类、AAJET、追加roller等拆除。 将入口CV和出口CV的整列关闭，中间各个UNIT Guide roller调到最外侧。 1、CLEANER调试前准备 2、川幅调整（初调） 创新进取 正道经营 追求卓越 调整入口CV操作侧第一个Guide roller，使其到侧板内侧距离为50mm，调整出口CV操作侧最后一个Guide roller，使其到侧板内侧距离为20mm，（这两个距离为经验值，视实际情况而定），用这两个Guide roller拉线作为基准线，再调整操作侧所有Guide roller，操作侧Guide roller与基准线距离为0mm。反操作侧的基准线做法与操作侧相同，反操作侧Guide roller与基准线距离分为两种：a、整列roller与基准线距离为0.5mm；b、 单个Guide roller基准线距离为2mm。所用基板为2500mm*2200mm*0.5mm 此时的川幅调整是初调，目的是传片，为DB、LC、SB、INTERFACE 注意 创新进取 正道经营 追求卓越 以及HB robot Teaching做准备。最终的川幅调整以COATER基台为基准。 LC robot Teaching完成后（Teaching基准为COATER基台），用robot将基板放入出口CV中，以此基板的两侧边为基准，首先调好两侧整列roller，再由两侧整列roller为基准拉线，最后调整CLEANER所有Guide roller。具体调整做法与川幅调整（初调）的相同。 再将Guide roller顶部到基板上表面的距离调整至4mm。  3、川幅调整（终调） 创新进取 正道经营 追求卓越 出口CV终调 川幅调整基准线 创新进取 正道经营 追求卓越 用随机携带的扳手将CLEANER所有搬送roller拧紧。  4、搬送ROLLER拧紧确认 创新进取 正道经营 追求卓越 在Sensor旁边的搬送roller上放置一块厚度为2mm的PVC板，放一直尺于板上，扫动直尺， 调整Sensor固定螺丝直到直尺稍微低于Sensor后锁紧螺丝。 Sensor的高度允许误差为（0，+0.5）， Sensor敏感度为小于0～5°时ON状态， 5°～10°时OFF状态。  5、摇摆SENSOR调整 创新进取 正道经营 追求卓越 将操作侧及反操作侧所有固定螺钉拧紧。 CLEANER除了入口CV与出口CV有立替部，其他unit都处于倾斜状态，整体平面度需要调整。a、粗调，将两块基板分别放入贴合的两个unit中，观察两块基板的高度差，然后调节unit四个角的双头螺栓，使得两基板趋于同一平面；b、细调，将一块基板置于两个unit交界处，调节C-roller，方法同A/K调整中的C-roller调整。 6、侧板固定螺钉拧紧 7、上下流平面度调整 创新进取 正道经营 追求卓越 用张力计依次将同步带的张力调整到标准值（标准值参照《各部分标准张力表），具体做法：首先用张力计测量同步带当前张力，再与标准值比较，最后用扳手调节涨紧轮的松紧状态，使得同步带的张力在标准范围内。