第二章第3节电子显微分析a .pptxVIP

电子显微分析第一章 粒子（束）与材料的相互作用第一节 电子束与材料的相互作用 一、 散射 二、 电子与固体作用产生的信号 三、 电子激发产生的其它现象第一节 电子束与材料的相互作用 入射电子（又称为初始或一次电子）照射固体时与固体中粒子相互作用，它包括： ①入射电子的散射 ②入射电子对固体的激发 ③受激发粒子在固体中的传播电子散射源于库仑作用，它不同于光子在固体中的散射。一、散射1 弹性散射 入射电子照射固体时将与固体中的电子、原子核等作用而发生散射。与辐射的散射一样，电子散射同样有弹性和非弹性散射之分。 设原子的质量为M，质量数为A，碰撞前原子处于静止状态。电子质量与原子质量的比值me/M＝1/1836A。根据动量和能量守恒定理，入射电子与原子（核）碰撞后的最大能量损失可表示为一、散射2 非弹性散射 当入射电子与原子中电子的作用成为主要过程时，由于作用粒子的质量相同，散射后入射电子的能量发生显著变化，这种过程称为非弹性散射。 在非弹性散射过程中，入射电子把部分能量转移给原子，引起原子内部结构的变化，产生各种激发现象。因为这些激发现象都是入射电子作用的结果，所以称为电子激发。电子激发是非电磁辐射激发的一种形式。一、散射3 散射截面（了解） 入射电子被原子核散射时，散射角2?的大小与瞄准距离（电子入射方向与原子核的距离）r0、原子核电荷Ze以及入射电子的加速电压V有关。如图1-l所示