质量流量控制器技术说明书.docxVIP

质量流量控制器和质量流量计使用说明书 特点及应用领域 质量流量控制器（Mass Flow Controller 缩写为MFC用于对气体的质量流量进 行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM,用于对气体的质量 流量进行精密测量。 S49系列质量流量控制器和质量流量计特点： 采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、 VITONR、聚四氟乙烯等 适用于各种腐蚀性气体 气体流量不因温度、压力的变化而失准 高精度*重复性好 响应速度快、软启动、稳定可靠 低压降 工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。 操作使用方便，可任意位置安装 便于与计算机连接实现自动控制。 S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域： 半导体制造行业的气体流量控制 分析仪器设备的气体计量与控制 各种形式的真空镀膜设备 环境检测与分析设备 化工、石化、食品行业气体流量监测和控制 特种材料表面处理装置与燃烧控制 混气配气系统和泄漏探测系统等 2. S49系列质量流量控制器和质量流量计型号 本产品采用中华人民共和国电子行业标准 SJ/T10583-94 以及 SJ37 所规定的通用 技术条件及命名方法。 其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器 S49-33A/MT 型高精度质量流量计。 S49-33M/MT 型为普通型质量流量控制器 S49-33BM/MT 型普通型质量流量计。 质量流量计主要精确测量气体流量， 质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还 具备自动控制气体流量的功能。 执行 Q/XCHBY001-2003Mk标准 3．主要技术指标 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。 质量流量的单位规定为：SCCM (标准毫升/分)； SLM (标准升/分) 标准状态规定为： 温度---273.15K ( 0 C ); 气压 一101325 Pa (760mm Hg) F.S (Full Scale): 表示满量程值 表1 S49-33/MT型、S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标 编号 项 目 S49-33/MT S49-33M/MT 1 流里规格 (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10,15,20,30) SLM 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止位置 常闭 4 准确度 ± 1 % F.S (5sccm~10slm) ± 2 % F.S 5 线性 士 (0.5~1.5) % F.S 6 重复精度 ±0.2 %F.S 7 响应时间 (1 ~ 10) sec 8 工作压差范围 (0.05 ~ 0.4) Mpa 10~30L(0.1~0.4) Mpa 9 耐压 3 Mpa 、10 Mpa 10 工作环境温度 5 C ~ 45 C 11 材料 不锈钢316L 12 标准密封材料 Viton、EPDM,或其他 13 漏率 2 x 10-9mbar.1/s He 14 接头 ① 6mm, 1/4 Swagelok, 1/4 VCR,或其他 15 输入输出信号 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K,输出电流/、大于3mA) 16 电源 + 15 V 50 mA -15V 200 mA 17 外形尺寸mm 134X 134X38 18 重里 kg 1.2  表2. S49-33A/MT、S49-33BM/MT型质量流量计技术指标 编号 项 目 S49-33A/MT S49-33BM/MT 1 流里规格 (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0~1,2,3,5,10,15,20,30) SLM 2 准确度 ±1 % F.S ±2 % F.S 3 线性 ±(0.5~1.5) % F.S 4 重复精度 ±0.2 %F.S 5 响应时间 1~4 sec 6 气压降 0.01 MPa 7 耐压 3 MPa、 10 MPa 8 工作环境温度 5 C ~ 45 C 11 材料 不锈钢316L 12 标准密封材料 Viton、EPDM,或其他 13 漏率 2 x 10-9mbar.1/s He 14 接头 ① 6mm, 1/4 Swagelok, 1/4 VCR,或其他 电源 +15 V 50 mA -15 V 50 mA 11 外形尺寸mm 134X134X38 134X 134X38 12 重里 kg 1 1 注意：S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也 可根据用户提出流量定制。 .工作原理 MT-50 流等显示代 图一热式质量流量计的工作原理图 质量流量计由流量传感器，分流器通道和流量放大电路等部件组成；