单晶硅棒技术检验要求.pdfVIP

发文单位：浙江昱辉阳光能源有限公司 页码： 1/3 供应商名称 版本 发行日期 五神光电 2010-03-20 签署栏 单晶硅圆棒质量技术规 发行方 格书 供应商 发文单位：浙江昱辉阳光能源有限公司 1 范围 本规格书规定了单晶硅圆棒的技术要求、检验规范以及包装。 本规格书适用于直接外购单晶硅 6 吋， 6.5 吋， 8 吋圆棒。 本规格书作为供方与昱辉阳光能源有限公司之间釆购合同的技术标 准，经双方签署后生效。 本规格书可由昱辉阳光能源有限公司根据产品需求进行变更，双方 进行签暑后生效；同时旧版规格书及时作废。 2、规范性引用文件： 浙江晃辉阳光能源有限公司单晶事业部《单晶硅圆棒检验内控标准》 。 3、术语及定义 长度：单晶硅圆棒两个端面之间的最短距离。 直径：整根圆棒最细处的直径。 缺口：晶棒表面局部缺损，其尺吋由纵向长度和径向深度给出。 裂纹：由晶棒上任意一点向其它位置延伸的贯穿或未贯穿晶棒的裂痕。 发文单位：浙江昱辉阳光能源有限公司 页码： 2/3 4 、技术要求： 特性 反应计划 产品 / 过程规 样本 项目 评价测量技术 控制方法 范/ 公差 容量 频率 无孪晶、无空 洞、无断棱、 无 硬伤、无裂纹、 单晶硅棒 不合格处切 外观 目测 100%全检 每根 缺口弧长 ≤3mm 检验标准 除 深度 ≤1.5mm 155mm ≥6 吋直径 ≥ 153mm 172mm ≥ 游标卡尺精度 单晶硅棒 不合格处切 直径 6.5 吋直径 100%全检 每根 0.02mm 检验标准 除 ≥1 68mm 206mm ≥8 吋直径 ≥203mm 去掉位错和直 不合格处切