从KLA成长路径看半导体检测设备国产化进程.pdf

Table_BaseI nfo Table_Tit le 2021 年09 月11 日 行业深度分析 其他专用机械 证券研究报告 从 KLA 成长路径看半导体检测设备 投资评级 领先大市-A 进程 调高评级 ■检测设备贯穿每一步骤的过程工艺控制，全球市场空间超百亿美元。 Table_Fir st St ock 首选股票 目标价 评级 半导体量检测设备又称过程工艺控制设备，主要对生产步骤的良率进 300567 精测电子 77.35 增持-A 行严格控制，几乎贯穿每一道生产步骤。其中半导体量测设备主要功 能是对经过每一道工艺的晶圆进行定量测量，以保证工艺的关键物理 Table_Char t 行业表现 参数满足工艺指标，如膜厚、关键尺寸（CD）、膜应力、折射率、参 杂浓度、套准精度等；半导体检测设备主要用于检测晶圆上的物理缺 123% 105% 陷（称为颗粒的异物）和图案缺陷，其细分品类可以分为明/暗场检测 87% 69% 设备、电子束检测、光罩检测设备等。根据科磊及Semi 统计，测试设 51% 备在设备投资中占比在11%~13% ，我们预测2021 年全球半导体检测 33% 15% 设备市场空间将达到114.4 亿美元，国内量检测设备市场达24.7 亿美 -3% 2014-09 2015-01 2015-05 元，约为160.6 亿元人民币，其中量测类占比34%、检测类占比55% ， 资料来源：Wind 资讯